Gebraucht AIXTRON 2600 G3 #9299680 zu verkaufen

AIXTRON 2600 G3
Hersteller
AIXTRON
Modell
2600 G3
ID: 9299680
MOCVD Systems.
AIXTRON 2600 G3 ist ein hochmoderner Reaktor zur Abscheidung von dünnen Schichten, die in Halbleiter- und LED-Fertigungsprozessen verwendet werden. Es bietet eine Reihe von innovativen Funktionen, die die Herstellung von großflächigen Folien mit hervorragenden Eigenschaften ermöglichen. AIXTRON 2600G3 ist in der Lage, eine Vielzahl von Abscheidungstechniken durchzuführen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD) und plasmagestütztem CVD (PECVD). Es kann bis zu 3 Reaktoren aufnehmen und eignet sich somit für Mehrreaktorprozesse. Das System verfügt zudem über einen breiten Wellenlängenbereich und eine präzise Wellenlängenkontrolle für fortgeschrittene Nanostrukturabscheidungen. Der Reaktor verfügt über eine Vielzahl von Gaseingängen, die maßgeschneiderte Prozessgasströme für ein optimales Filmwachstum ermöglichen. Die drei Reaktoren sind mit einzelnen Heizzonen zur präzisen Substratheizung ausgestattet. Das System bietet auch modernste Auto-Tuning-Algorithmen auf der Basis von AIXTRON-proprietären modernisierten PID-Verfahren für verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Kammer von 2600 G3 besteht aus hochbeständigem Edelstahl, um Zuverlässigkeit und Sauberkeit zu gewährleisten. Alle Systeme sind druckdicht für eine überlegene leckagefreie Leistung und alle Komponenten sind temperaturbeständig, was einen langfristigen und stabilen Betrieb ermöglicht. Die Kammer ist außerdem mit einer zentralen Zugangstür und integriertem Reinigungsanschluss leicht zugänglich und wartungsfreundlich gestaltet. 2600G3 ist eines der fortschrittlichsten und vielseitigsten Dünnschichtabscheidungswerkzeuge. Es bietet eine breite Palette von Abscheidetechniken mit optimalen Prozessbedingungen durch sein flexibles Design und modernste Funktionen. Es ist ideal für eine Vielzahl von Substraten und Anwendungen in der Halbleiterherstellung.
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