Gebraucht AIXTRON 2600G3 HT #9233663 zu verkaufen

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AIXTRON 2600G3 HT
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
2600G3 HT
ID: 9233663
MOCVD System.
AIXTRON 2600G3 HT ist ein fortschrittlicher, hochleistungsfähiger, geschlossener chemischer Dampfabscheidungsreaktor (CVD). Dieser Reaktor wurde entwickelt, um eine zuverlässige und qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidung für eine Vielzahl von Materialien bereitzustellen. AIXTRON 2600 G3 HT eignet sich für Halbleiter- und andere Dünnschichtbeschichtungsanwendungen, wie die Abscheidung von Metallen, Oxiden und Nitriden. Herzstück von 2600G3 HT ist seine robuste Abscheidekammer, die aus einer Edelstahlwand und Boden auf einem starren Rahmen montiert ist. Diese Konstruktion ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung der Kammer während der Konstruktion, um einen zuverlässigen und langlebigen Betrieb zu gewährleisten. Das bemerkenswerteste Merkmal dieser Ausrüstung ist die fortschrittliche Temperaturregelung, die eine exakt gesteuerte Temperaturprofilierung und Prozesswiederholbarkeit ermöglicht. Dies ermöglicht eine bemerkenswert stabile Abscheidung mit minimierten Foliendefekten. 2600 G3 HT ist auch mit einem integrierten zweistufigen Pyrometer ausgestattet, das Echtzeit-Temperaturmessungen während des Prozesses liefert. Die 3900A Einheit sorgt für eine verbesserte Sicherheit und einen anhaltenden Maschinenlebenszyklus und gewährleistet eine gleichmäßige und qualitativ hochwertige Folienabscheidung. Seine schnelle Lastverriegelung ermöglicht einen kontinuierlichen Betrieb und ermöglicht eine schnelle Wendezeit für Wafer. Diese erhöhte Werkzeugsicherheit wird auch mit einer integrierten TC-Warneinrichtung gewährleistet, die die Temperatur der Wafer und der Vorrichtungen überwacht, um sicherzustellen, dass die Wafer nicht unsicheren Bedingungen ausgesetzt sind. Neben seinem benutzerfreundlichen und zuverlässigen Betrieb bietet AIXTRON 2600G3 HT-Reaktor auch eine optimierte Dünnschichtverteilung durch eine fortschrittliche Duschkopftechnologie. Die Duschkopfkonstruktion reduziert die Variation zwischen den Schichten auf verschiedenen Wafern und gewährleistet so die Gleichmäßigkeit des Abscheideprozesses. Die Prozessstabilität wird durch ausgezeichnete Gas- und Fluidströmungszufuhr und -mischung weiter verbessert, wodurch eine homogene Abscheidung von Partikeln mit gleichmäßiger Teilchengröße und -energie entsteht. Schließlich kann AIXTRON 2600 G3 HT mit Hochpulsstromversorgung eine extra genaue Dickensteuerung mit der höchsten Auflösung für ultradünne Beschichtungen bereitstellen. Insgesamt ist 2600G3 HT ein hochinnovativer und zuverlässiger Reaktor, der Kunden bei der Erstellung präziser und hochwertiger Metall-, Oxid- und Nitrid-Dünnschichtbeschichtungen unterstützt. Sein fortschrittliches Temperaturkontrollmodell, verbesserte Sicherheitsmaßnahmen und Duschkopftechnologie sorgen für wiederholbare und einheitliche Beschichtungsergebnisse bei höchster Qualität.
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