Gebraucht AIXTRON 2600G3 HT #9270065 zu verkaufen

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AIXTRON 2600G3 HT
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
2600G3 HT
ID: 9270065
MOCVD System.
AIXTRON 2600G3 HT ist ein Reaktor für die Forschung und Entwicklung neuer Halbleiteranwendungen, insbesondere Hochtemperatur- (HT) -Prozesse. Dieser Reaktor ist mit einer fortschrittlichen Temperaturregeleinrichtung ausgestattet, die Temperaturen bis 400 ° C aufweist. Es hat auch ein angepasstes Paar Suszeptor-Baugruppen und dreidimensionale (3D) Suszeptoren sowie lineare und konische Gaseinspritzgitter und hochpräzise Bewegungssteuerungssysteme für eine genaue Substratpositionierung. AIXTRON 2600 G3 HT ist ein Hochleistungssystem mit großer Prozessflexibilität für viele Folien- und Epitaxieanwendungen. Die Reaktionskammer verfügt über einen breiten Gestaltungsbereich mit bis zu 4800W Leistung und momentanen Kräften bei 200-400W. Es verfügt auch über eine modulierte Leistungseinheit, die die Variation von Frequenz und Spitzenleistung für die Feinabstimmung Abscheidungsprozesse ermöglichen kann. 2600G3 HT verfügt über eine integrierte, fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine, die anwenderdefinierte Abscheideprogramme mit automatisierter Prozesssteuerung unterstützt. Sein computergesteuertes Subsystem überwacht und passt Prozessparameter während der Abscheidung an, wie Quellgasfluss, Plasmaleistung, Substrattemperatur, Substratvorspannung und Inertgasdruck. 2600 G3 HT ist mit Ultrahochvakuumsystemen (UHV) ausgelegt, die Hochtemperaturprozesse abwickeln und das Risiko von Kontaminationen reduzieren können. Seine Konstruktionsparameter machen das Werkzeug für die Herstellung von Verbundhalbleitern wie GaN, GaAs und ZnSe sowie für eine breite Palette von tertiären Verbindungen geeignet. Der Einsatz von AIXTRON 2600G3 HT ist für Forscher und Ingenieure der optischen und LED-Industrie von Vorteil, da dieser Reaktor auch zur Dünnschichtabscheidung mit optischen Materialien, einschließlich Tieftemperatur (LT) und hydriertem amorphem Silizium (a-Si: H) geeignet ist. Für Sicherheit und konsistente Leistung verfügt das Asset über fortschrittliche Diagnosesysteme, um anormale Betriebsbedingungen zu erkennen. Seine fortschrittliche Diagnostik trägt dazu bei, das Risiko von Kontaminationen durch Überwachung der Kammerbedingungen und des Gasdruckniveaus zu reduzieren. Insgesamt ist der AIXTRON 2600 G3 HT Reaktor das ideale Modell für Forschung und Produktentwicklung für die Halbleiter-, LED und optische Industrie. Es ist sicher, zuverlässig und kann HT-Prozesse durchführen sowie eine präzise Prozesssteuerung erreichen. Die automatisierten Prozesse und die integrierte Diagnostik geben Forschern die Sicherheit, dass ihre Arbeit und Ergebnisse von gleichbleibender Qualität sind.
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