Gebraucht AIXTRON 2600G3 HT #9395958 zu verkaufen

AIXTRON 2600G3 HT ist ein Hochdurchsatz-Cluster-Typ chemische Dampfabscheidung (CVD) Reaktor, entwickelt für Hochgeschwindigkeitsabscheidung von Dünnschichtmaterialien. Diese Ausrüstung basiert auf der modularen Einzelwaferkonfiguration und kann bis zu 16 Wafer gleichzeitig verarbeiten und ist somit ideal für Großserienanwendungen geeignet. AIXTRON 2600 G3 HT ist mit einer Vielzahl von automatisierten Funktionen für einfache Bedienung ausgestattet. Ein Hochdurchsatz-Gasmischsystem ermöglicht eine schnelle Einstellung der Abscheidegeschwindigkeit und Zusammensetzung der abgeschiedenen Folie. Das Gerät hat auch ein austauschbares Suszeptor-Design, so dass es schnell zwischen verschiedenen Wafergrößen und Substratmaterialien wechseln kann. Die kompakte, leichte Bauweise der Maschine eignet sich hervorragend für labor- oder produktionsorientierte Anwendungen. Der Abscheidevorgang erfolgt durch richtungsreaktives Gasverhältnis mit hoher Abscheidungsgeschwindigkeit, was eine verbesserte Durchsatzgeschwindigkeit ermöglicht. Insbesondere eine effiziente Zonierung am Ort des Reaktors ermöglicht es, das Verfahren zur Abscheidung von Folien mit spezifizierten Eigenschaften zu steuern. Dank der schnellen Erwärmungsrate von 2600G3 HT ist es möglich, eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit über den Wafer, das Substrat und den Substrathalter zu erreichen. Eine hohe Wärmeleitfähigkeit des Suszeptors ermöglicht eine verbesserte Temperaturhomogenität der Folie, und der Suszeptor kann bei Bedarf schnell ausgetauscht werden, wodurch Ausfallzeiten reduziert werden. 2600 G3 HT Temperaturbereich ist von Raumtemperatur bis 700 ° C, so dass es eine breite Palette von Materialien abscheiden, wie Dielektrika, Metalle, Oxide und Legierungen. Die hohe Temperaturfähigkeit von AIXTRON 2600G3 HT macht es geeignet für die Abscheidung von Metalloxid-Halbleiterfilmen (MOS), wie Wolframoxide und Silizide. AIXTRON 2600 G3 HT ist auch mit einer Reihe von Automatisierungsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer programmierbaren Steuerung, einer integrierten Vollzeit-Gasflussüberwachung und einem programmierbaren Sicherheitsverriegelungswerkzeug. Darüber hinaus ist 2600G3 HT für den Betrieb unter Inertgas konzipiert und bietet eine saubere Umgebung für die präzise Abscheidung von hochwertigen Folien. Zusammenfassend ist 2600 G3 HT ein ideales Werkzeug für die Abscheidung von Dünnschichtmaterialien in Forschung und Produktion. Der effiziente Abscheidevorgang und die automatisierten Funktionen sorgen für verbesserte Durchsatzgeschwindigkeiten mit ausgezeichneter Temperaturgleichförmigkeit und hochwertigen Folien. Um einen sicheren und erfolgreichen Betrieb zu gewährleisten, ist AIXTRON 2600G3 HT mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet und für den Betrieb unter einer inerten Umgebung ausgelegt.