Gebraucht AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293725009 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2400 G3 HT ist ein CVD-Reaktor zur Abscheidung von High-k-Dielektrikum-, Halbleiter- und Ultradünnfilmen. AIXTRON AIX 2400 G3/HT verfügt über eine Prozesskammer, die einen weiten Temperaturbereich und eine niedrige thermische Massenumgebung bietet, um schnelle Hochlaufzeiten und einen hohen Durchsatz zu ermöglichen. Es hat eine große Abscheidungsfläche und bietet Platz für bis zu 30 Standardsubstrate bis zu 200mm. Es verfügt über einen Hochleistungs-HF-Generator, der eine HF-Leistung bis zu 15kW und Drücke bis zu 100-Torr (mTorr) bereitstellen kann. Es verfügt über einen High-End-Temperaturregler, der Temperaturen bis 800 ° C präzise steuern kann. Es verfügt auch über einen automatischen Dotierstoffkonzentrationsmonitor. AIX 2400 G3 HT verwendet ein patentiertes Liner-Flow-Reaktor-Design, das überlegene Prozessgleichförmigkeit, ausgezeichnete Abscheidungsrate, reduzierte Partikelerzeugung und verbesserte Substratgleichförmigkeit bietet. Der Strömungsreaktor liefert eine gleichmäßige Quelle für reaktive Gase vom Kopf des Reaktors. Die Quellgase werden durch die Auskleidung geleitet und in der Mischkammer gemischt, um Schwefelverunreinigungen zu beseitigen, was eine bessere Dosissteuerung ermöglicht. Der Innenraum von AIX 2400 G3/HT ist mit hochwärmebeständigen Aluminiumkomponenten und spezieller Isolierung ausgestattet. Die Prozesskammer besteht aus einem langlebigen Edelstahl, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. AIXTRON AIX 2400 G3 HT verfügt über erweiterte SPC- und Prozesssteuerungsfunktionen, die den Anwendern einen einfachen und schnellen Optimierungsprozess bieten. Im Endpunkt-Überwachungsmodus kann AIXTRON AIX 2400 G3/HT einen automatischen Überwachungsprozess mit Offline-Spektren-Tester durchführen. Schließlich entspricht AIX 2400 G3 HT den SEMI E84 und RoHS Standards. Es verfügt über eine leistungsstarke Kombination von Designmerkmalen, die branchenführende Materialprozessleistung, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit bieten.