Gebraucht AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9243847 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
AIX 2400 G3 HT
ID: 9243847
Weinlese: 2004
MOCVD System Power supply: 14,400 kVA 2004 vintage.
AIXTRON AIX 2400 G3 HT ist ein mehrkammeriger, weitflächiger Quarzreaktor, der für epitaktische Abscheidungsprozesse mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Seine Kerntechnologie, eine hohe Temperatur, große Kapazität, Quarzrohr-basierte Ausrüstung, macht es in hohem Grade in der Lage, kommerzielle, nanostrukturierte Dünnschichtgeräte zu produzieren. AIXTRON AIX 2400 G3/HT ist einer der fortschrittlichsten heute verfügbaren Reaktoren und eignet sich hervorragend für Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen, mit einer bewährten Erfolgsbilanz sowohl in organischen Dünnschichttechnologien als auch in der Breitflächendisplay-Fertigung. AIX 2400 G3 HT besteht aus zwei unabhängigen, entgegengesetzten Prozesskammern. Die erste Kammer ist die Quellkammer, die eine separat isolierte Donorquelle, einen thermisch gesteuerten Tiegel sowie einen abgeschalteten Substrathalter enthält, dessen Position fein einstellbar ist, um eine gleichmäßige Abscheidung während der Verarbeitung zu gewährleisten. Die zweite Kammer ist die Reaktionskammer, die mit unabhängig beheizten Quarzrohren ausgestattet ist, die gasförmige Arten aus einem Gaskasten zuführen. AIX 2400 G3/HT verwendet eine umfassende Palette von Standard-Vorläufer-Freisetzungstechniken, einschließlich dynamischer Split-Zone und gepulster Split-Zone-Injektion, sowie eine Auswahl von zuvor etablierten Dünnfilm-Abscheidungsprozessen, einschließlich Atomic Layer Deposition (ALD), plasmaverstärkte chemische Aufdampfung (PECVAPVFID FID osition). Darüber hinaus kann AIXTRON AIX 2400 G3 HT eine Vielzahl von Gerätestrukturen aufnehmen, von hochmobilen Verbundhalbleiterkanälen über Dünnschichtoxidstrukturen bis hin zu Mehrschichtstapeln. AIXTRON AIX 2400 G3/HT bietet Anwendern die Flexibilität, die Temperatur der Katalysatorumgebung über ein integriertes Wärmemanagementsystem an der Schnittstelle zwischen Quelle und Reaktionskammer zu steuern. Darüber hinaus umfasst AIX 2400 G3 HT eine Reihe hochauflösender Profilierungssonden, mit denen Benutzer die Entwicklung ihres Prozesses in Echtzeit dynamisch untersuchen können. AIX 2400 G3/HT ist darauf ausgelegt, stets überlegene Prozessqualität und Produktdurchsatz auf sehr kostengünstige Weise zu liefern. Die eingebaute Sicherheitseinheit überwacht die Betriebsparameter der gesamten Maschine, um den Prozess in vordefinierten Grenzen zu halten und versehentliche Prozessabweichungen zu verhindern. Darüber hinaus kann AIXTRON AIX 2400 G3 HT so programmiert werden, dass sowohl Makro- als auch Mikroprozesse ausgeführt werden, sodass Anwender eine beispiellose Prozesskontrolle über ihren Abscheidungsprozess erlangen können. AIXTRON AIX 2400 G3/HT wurde als äußerst robustes und vielseitiges Werkzeug entwickelt. Seine beeindruckende Kombination aus fortschrittlicher Technologie und Prozesssteuerung macht es zu einer Top-Wahl für Forschung und industrielle Anwendungen. Mit seinen umfassenden Funktionen können Anwender sicher sein, dass AIX 2400 G3 HT in der Lage ist, zuverlässige, hochwertige Geräte schnell und kostengünstig zu produzieren.
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