Gebraucht AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9287470 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2400 G3 HT ist ein metalorganischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD). Es wird verwendet, um ultradünne Schichten aus Halbleitermaterialien wie GaN und GaAs für die Mikroelektronik und Optoelektronik-Industrie abzuscheiden. Dieser Reaktor verwendet eine horizontale Rohr- (HT) MOCVD-Konfiguration, in der die Wachstumskammer horizontal montiert ist, was eine einfache Wartung und verbesserte Prozesskontrolle ermöglicht. Es verfügt über eine vollautomatische Aufzugsausrüstung für einfachen Zugang zur Prozesskammer und den Transport von Wafern und Substraten. AIXTRON AIX 2400 G3/HT ist mit einem Quarz Ultra-Snowcap-Suszeptor ausgestattet, der bis zu 1000 ° C erwärmt, und einem Temperaturregelsystem mit CAE-Scanfähigkeit. Es wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen an die Abscheidungsprozesse von III-V-Verbindungshalbleitermaterialien wie Galliumnitrid und Galliumarsenid zu erfüllen. Es hat eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit in der Abscheidung und ist in der Lage, Schichten im Bereich von 5 - 200 nm abzuscheiden. AIX 2400 G3 HT ist auch in der Lage, verschiedene Arten von Flüssigkeitszufuhrsystemen für die Lieferung von flüssigen Vorläufern, wie Dotierstoffe und Passivatoren unterzubringen. Der Reaktor verwendet ein schnell lösliches Trägergas wie Stickstoff, um eine homogene und kontinuierlich stabile Strömung der Vorläufer zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine stabile Prozesskontrolle bei gleichbleibender Folienqualität und reduziert den Abfall von Vorprodukten. AIX 2400 G3/HT verfügt zudem über eine einzigartige Auspuffanlage zur Reduzierung von Verschmutzungen. Diese Abgasmaschine umfasst einen zusätzlichen Gaswäscher und ein Filtrationswerkzeug zum Entfernen von Gefahrstoffen aus der Kammer. Dies ermöglicht eine sichere und saubere Umgebung in der Wachstumskammer und eine stabile Prozesssteuerung. AIXTRON AIX 2400 G3 HT ist ein effizienter, zuverlässiger und kostengünstiger Reaktor zur Herstellung verschiedener optoelektronischer und mikroelektronischer Geräte. Es ist robust konstruiert und kann stabil und zuverlässig im Fertigungsumfeld arbeiten. Mit seinen fortschrittlichen Prozesskontroll- und Überwachungsfunktionen eignet es sich für die Produktion hochwertiger Produkte.