Gebraucht AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2400 G3 HT (High Tempered) ist ein leistungsstarker Mehrzweckreaktor für flexible Dünnschichtabscheidungen und fortschrittliche Kalibrierprozesse in der Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine sehr robuste Konstruktion mit einer geräumigen Acht-Kammer-Konfiguration und optimierten Kammerventilen. Zu den Hauptkomponenten des AIXTRON AIX 2400 G3/HT Reaktors gehören die Prozesskammern, Gaseinlässe, Gasauslässe, Abscheideplatte, Prozessschnittstelle und RFG-Substrathalter. Jede Kammer ist mit einer individuellen Verriegelungsausrüstung ausgestattet, die eine sichere und wiederholbare Verbindungsstelle bietet und es Benutzern ermöglicht, Substrate schnell zu laden und zu entladen. Die Prozesskammern werden durch ein über einen PID-Regler gesteuertes Bordheißzonensystem beheizt. AIX 2400 G3 HT Reaktorgaseinlässe verfügen über ein Quick-Connect-Design mit individualisierten Kugelhähnen für jeden Gastyp. Alle eingebetteten Komponenten sind mit einer Edelstahl-Venturidüse verbunden, um die Prozesse sauber und effizient zu halten. Der Reaktor verfügt auch über eine umfassende programmierbare Auto-Clean für eine zuverlässige Reinigung von Prozesskammern beim Wechsel von Rezepten oder Kalibrierungen. Die Kammerabscheideplatte bietet eine große Anzahl von Trägern zur einfachen und effizienten Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten. Die RFG-Substrathalter sind auf eine verbesserte Heizgleichmäßigkeit ausgelegt und eignen sich für den Einsatz im Präzisionswachstum. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine automatisierte Prozessschnittstelle und einen leistungsstarken HF-Generator mit einer Leistung von 1 MHz - 13,56 MHz. AIX 2400 G3/HT Reaktor ist mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um das Gerät zu schützen, einschließlich einer Übertemperatur-Überwachungsmaschine und einem Not-Aus-Knopf, der den Prozess sofort stoppt. Es verfügt auch über Hochgeschwindigkeits- und hochsensible Software mit der Fähigkeit, die Parameter in Echtzeit zu überwachen und anzupassen. Insgesamt ist AIXTRON AIX 2400 G3 HT ein vielseitiger, multifunktionaler Reaktor, der den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit seinem innovativen Design, seiner robusten Konstruktion und den umfassenden Sicherheitsmerkmalen ist dieser Reaktor eine ideale Wahl für hochzuverlässige und leistungsstarke Abscheidungen.