Gebraucht AIXTRON AIX 2600 G3 HT #293592763 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2600 G3 HT ist eine chemische Dampfabscheidung (CVD) Ausrüstung für das Wachstum von dünnen Schichten und Nanostrukturen von Materialien. Es ist ideal für Forschungs- und Entwicklungsprojekte in den Bereichen Materialwissenschaft, Optoelektronik, Halbleiter- und Mikrosystemtechnik. AIX 2600 G3 HT ist ein sechseckiger, horizontaler Reaktor mit vierarmiger Geometrie, mit dem bis zu sechs Prozesszellen gleichzeitig betrieben werden können. Die einzelnen Zellen sind mit unterschiedlichen Ausgangsmaterialien kompatibel und weisen eine gleichmäßige Temperaturverteilung mit niedrigen vertikalen Temperaturgradienten auf. Jede Zelle verfügt über eine unabhängig gesteuerte untere Quelle, mittlere Quelle und oberste Quelle, einschließlich eines vertikalen Solid-Source-Manipulationssystems. Das Gerät ist mit einem HF/DC-Plasmagenerator ausgestattet, der eine Kombination aus Hochfrequenz (RF) und Gleichstrom (DC) verwendet, um ein Plasma zu erzeugen. Der HF/DC kann insbesondere bei Abscheideraten, Schichtgleichförmigkeit und Wachstumsraten die Prozeßwiederholbarkeit erhöhen. AIXTRON AIX 2600 G3 HT hat einen Temperaturbereich von 10 ° bis 350 ° C und ermöglicht es dem Benutzer, aus vier verschiedenen Ebenen der Temperaturgleichmäßigkeit auszuwählen. Eine maximale Drehzahl von 300rpm sorgt für eine gute Gleichmäßigkeit des Temperaturprofils. Die Temperatur der einzelnen Ausgangsmaterialien ist unabhängig voneinander einstellbar und wird von der Maschine genau überwacht. Die Abscheiderate von AIX 2600 G3 HT liegt zwischen 0,2 und 3,0 nm/s und der Druckbereich zwischen 0,2 und 3,0 Torr. Das Tool verfügt über eine vollständig integrierte Prozesssteuerung, die die Prozessvariablen überwacht, um eine maximale Kontrolle über die zu verarbeitenden Materialien zu gewährleisten. AIXTRON AIX 2600 G3 HT verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter ein Notabschaltmodell, automatische Argonspülung, Luftprobenentnahme und eine trockene Abgasanlage. Dadurch wird sichergestellt, dass das System sicher im Einsatz ist und die Qualität des Prozesses erhalten bleibt. Insgesamt ist AIX 2600 G3 HT eine effiziente und vielseitige Einheit für materialwissenschaftliche und optoelektronische Anwendungen. Es bietet hohe Einheitlichkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit und ist somit eine ideale Wahl für Forschungsprojekte.