Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #189322 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
AIX 2800 G4 HT
ID: 189322
MOCVD Planetary Reactor system Equipped with individual satellite rotation control Configured for 11x4" GaN production Currently installed Can be demonstrated 2010 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist eine produktionserprobte Reaktorausrüstung für die metall-organische chemische Aufdampfung (MOCVD) von III-V-basierten Halbleitermaterialien. Das System ist für eine optimale Abscheideleistung ausgelegt und kann extrem hohe Wachstumsraten erzielen. AIXTRON AIX 2800G4-HT kann sowohl in atmosphärischen als auch in Hochdruckanwendungen arbeiten und ermöglicht eine optimale Wahl der Wachstumsbedingungen je nach gewünschter Kristallstruktur und Materialeigenschaften. AIX 2800G4 HT besteht aus einer mit einer Gasfördereinheit verbundenen Reaktionskammer, einer elektrischen Versorgung und einem in einem Hochtemperatur-Kryostaten untergebrachten Prozessregler. Die Reaktionskammer soll ein optimales thermisches Gefälle zwischen Quellmaterialien und Substraten für die gewünschte Materialqualität und Prozessgleichförmigkeit herstellen. Die Geometrie der Reaktionskammer ist so gestaltet, dass eine ausreichende Verweilzeit der verdampften Vorläufermaterialien gewährleistet ist, eine Kaltfleckkeimbildung verhindert und die Materialqualität verbessert wird. AIXTRON AIX 2800G4 HT verwendet eine innovative Dual-Gas-Fördermaschine, die die Verarbeitung von zwei verschiedenen Ausgangsmaterialien oder zwei verschiedenen Gasgemischen für unterschiedliche Prozessbedingungen ermöglicht. Das Gasförderwerkzeug kann gesteuerte Trägergasströme sowie gepulste oder kontinuierliche Einspritzung von Reaktivgasen zur Bildung des gewünschten Materials unterstützen. Die präzise Gasförderregelung ermöglicht auch die Abscheidung von Material bei sehr hohen Abscheideraten mit der Möglichkeit von bis zu zwei Größenordnungen höher als der Standardreaktor. AIX 2800G4-HT ist auch mit einem Hochtemperatur-Quarzfenster für die Vor-Ort-Überwachung von abgelagerten Materialien ausgestattet. Das Fenster wird durch eine Niederdruck-Antireflexbeschichtung verbessert, wodurch die optischen Eigenschaften des abgeschiedenen Materials verbessert werden können. AIX 2800 G4 HT enthält auch eine fortschrittliche elektrische Versorgungsanlage, die speziell für den effizienten Betrieb des Abscheideprozesses ausgelegt ist. Darüber hinaus verfügt AIXTRON AIX 2800 G 4 HT über eine leistungsstarke Prozesssteuerung, die eine präzise Einstellung der Prozessparameter im Betrieb ermöglicht. Der Prozesscontroller ist in der Lage, Prozessparameter in Echtzeit zu protokollieren und zu speichern, um wiederholbare und zuverlässige Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. Der Prozesscontroller bietet auch eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit Funktionen wie Alarmierung und Remote-Schnittstellenfähigkeit. AIX 2800 G 4 HT wurde für die Abscheidung hochwertiger III-V-Materialien optimiert und ist somit eine ausgezeichnete Wahl für industrielle Abscheidungsanwendungen. Die präzise Gasförderausrüstung des Modells, das Hochtemperatur-Quarzfenster, die effiziente elektrische Versorgung und die leistungsstarke Prozesssteuerung sorgen für eine zuverlässige und wiederholbare Abscheidung der gewünschten Materialien. AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ideal für die Herstellung von III-V optoelektronischen und Stromversorgungsgeräten.
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