Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9064065 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ein hochmoderner plasmaverbesserter PECVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) zur Abscheidung dünner Filme. Der Reaktor arbeitet materialabhängig bei verschiedenen Prozesstemperaturen von Raumtemperatur bis 800 ° C. Die Anlage ist mit einer Reihe von Prozessgasen ausgestattet und in der Lage, hochwertige dünne Filme aus einer Vielzahl von Materialien zu produzieren. AIXTRON AIX 2800G4-HT ist ein Dreikammerdesign, das je nach Art der gewünschten Abscheidung entweder als Einzelkammer- oder Spaltkammerausrüstung konfiguriert werden kann. Die Hauptverarbeitungskammer ist in einer umgekehrten glockenförmigen Edelstahlkammer mit einem integrierten Kühlsystem eingeschlossen, das sowohl das Substrat kühlt als auch prozessbedingte Wärme abführt. In die glockenförmige Kammer ist ein Gasquellenkrümmer integriert, der die Abgabe von bis zu vier Prozessgasen zur Abscheidung unterschiedlichster Materialien ermöglicht. Die Hauptkammer enthält einen rückseitigen Gasinjektor zur Abgabe reaktiver Spezies für schwierigere Dünnschichtanwendungen. Die Kammer bietet auch eine Option für eine gasbasierte Entgasungskammer, die die Entfernung von Gasphasenverunreinigungen oder materialbezogenen Spezies aus dem Prozessgas ermöglicht. AIX 2800G4 HT bietet auch eine Reihe von optionalen Funktionen für fortgeschrittenere Abscheidungsprozesse wie seine pulsbasierte Abscheidekammer. Diese Kammer soll die Kontrolle von Schichtdicke und Zusammensetzung weiter verbessern, indem ein gepulster Eingang von Prozessgasen für selektive Flächenabscheidungsprozesse bereitgestellt wird. Das Steuergerät für AIXTRON AIX 2800G4 HT basiert auf einem leistungsstarken PC und bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für den Bediener. Der Reaktor ist zudem kompatibel mit integrierten Prozessüberwachungs- und Messtechnik-Systemen, die eine präzise Kontrolle der Folieneigenschaften ermöglichen. Insgesamt ist AIX 2800 G 4 HT eine anspruchsvolle Dünnschichtabscheidungsmaschine mit präziser Kontrolle der Filmeigenschaften und ausgezeichneter Wiederholbarkeit. Mit seinen erweiterten Funktionen ist AIX 2800G4-HT ein leistungsstarkes Werkzeug für jede Dünnschichtabscheidung.