Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9123393 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9123393
Weinlese: 2010
MOVPE System
GaN System
Configured for LED substrate
Aixact software version: 6.1.6.8
(12) MO's
(7) Actives (TMGa, TMAl, TMIn, TEOS, CBr4, Cp2Mg, TEGa incl. MFC/PC etc.)
Dopant lines: Double dilution
Pumps:
Process pump: EBARA A70W
Glovebox pump: VARIAN Tiscroll 300
Door-pump: VARIAN Triscroll 300
Insitu monitoring: Photrix
H2 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
N2 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
NH3 Purifier: ENTEGRIS 2,8l
MFC: BRONKHORST
2010 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ein hochmoderner Produktionsreaktor zur Abscheidung und Verarbeitung von Verbundhalbleitern wie GaAs, InP und GaN. Diese Ausrüstung ermöglicht die Abscheidung dieser Materialien in hohen Wachstumsraten und ausgezeichneter Schichtgleichförmigkeit. Die Reaktorkonfiguration des Systems wurde speziell entwickelt, um große Läufe von bis zu 800 mm Wafern in einer einzigen Charge durchzuführen. AIXTRON AIX 2800G4-HT verwendet eine horizontale Quarzgasverteilungsplatte, die die Reaktionsgase für eine verbesserte Gleichmäßigkeit gleichmäßig über das gesamte Substrat verteilt. Die hochflexible Lastverriegelungseinheit bietet beispiellosen Komfort und ermöglicht den Transport zwischen Last- und Verarbeitungskammern ohne Vakuumbruch. AIX 2800G4 HT verfügt über einen beheizten Duschkopf mit einer 8-stufigen kontrollierbaren Temperaturverteilung für optimierte Abscheidungsleistung und Schichtqualität. Für eine verbesserte Gleichmäßigkeit ist der Reaktor mit einem schnell beweglichen Suszeptor ausgestattet, um Schichtgleichförmigkeit und optimale Bettgleichförmigkeit zu gewährleisten. Weitere Merkmale sind eine integrierte Drucksteuerungsmaschine, die eine präzise Gassteuerung für eine Vielzahl von Substraten und Prozessbedingungen ermöglicht. Das Lastschloß ist auch mit einer UV-Spüllampe ausgestattet, um hohe Sauberkeit vor dem Eintritt in die Reaktionskammer zu gewährleisten. AIX 2800G4-HT verfügt zudem über eine intelligente Rezeptsoftware, die die Werkzeugleistung durch automatische Prozessoptimierungsfunktionen optimiert. Darüber hinaus ist AIXTRON AIX 2800G4 HT für einen sicheren Betrieb ausgelegt, mit einer Sicherheitsdichtungskammer, die den Austritt der Reaktionsgase in die Arbeitsumgebung verhindert. Diese Ressource nutzt auch ein geschlossenes Rezirkulationsmodell, um den Einsatz hochgiftiger Reaktionsgase zu reduzieren. Es erfüllt oder übertrifft alle geltenden Sicherheitsstandards und gibt Benutzern Sicherheit, während sie die Ausrüstung bedienen. Zusammenfassend ist AIX 2800 G4 HT ein leistungsstarker, hochpräziser Produktionsreaktor für die Abscheidung und Verarbeitung von Verbundhalbleitern. Es bietet schnelle, gleichmäßige Abscheidung, integrierte Drucksteuerung und eine UV-Spüllampe für überlegene Schichtqualität und Sauberkeit. Mit seinem optimierten Design und den integrierten Sicherheitsmerkmalen ist AIXTRON AIX 2800 G 4 HT ein unschätzbares Werkzeug für Anwender in der Halbleiterindustrie.
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