Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9222201 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ein Hochdurchsatzreaktor (HT), der zur Herstellung von Verbundhalbleitermaterialien verwendet wird. Es ist ein epitaktisches Wachstumswerkzeug, das für die Materialforschung und -entwicklung, die Prozessoptimierung und die Herstellung von Multi-Material-Geräten entwickelt wurde. AIXTRON AIX 2800G4-HT ist eine horizontale Dual-Wafer-Ausrüstung mit einem Temperaturbereich von bis zu 800 ° C und automatisierter Reaktionsgasregelung. AIX 2800G4 HT verfügt über erweiterte Prozessfunktionen mit hohem Durchsatz, sodass bis zu 200 Wafer in einer Charge verarbeitet werden können. Es verfügt über eine Vielzahl von Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) -Prozessen, einschließlich chemischer Strahl-Epitaxie (CBE) und Molekularschicht-Abscheidung (MLD). Zusätzlich kann AIXTRON AIX 2800G4 HT an physikalische Bedampfungsprozesse (PVD) wie Atomschichtabscheidung (ALD) und Spin-on-Deposition (SOD) angepasst werden. Diese Flexibilität macht AIX 2800 G4 HT ideal für komplexe Prozesse und Anwendungen wie die Herstellung von Heterostrukturen. AIX 2800 G 4 HT verfügt über eine automatisierte Mehrzonenheizung, die präzise und gleichmäßige Verarbeitungstemperaturen über die gesamte Waferoberfläche ermöglicht. Das System bietet zudem automatisierte In-situ-Gasanalysefunktionen zur Prozessoptimierung. Es kann Nitridations- und Oxidationsprozesse, die Stickoxidabscheidung und die Abscheidung von Metallen und organischen Stoffen überwachen. AIX 2800G4-HT kann Reaktionsgase mit hoher Genauigkeit und Auflösung messen. Das AIXTRON AIX 2800 G 4 HT-Gehäuse verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen, darunter einen integrierten Helium-Lecksucher und einen Sicherheitsabschalter. Es ist auch mit einer automatisierten Prozess- und Protokollierungseinheit ausgestattet, die alle Informationen aus dem Prozesslauf aufzeichnet, einschließlich Gasverbrauch und Temperaturen. Darüber hinaus bietet die Maschine eine breite Palette von Software-Tools zur Entwicklung und Optimierung von Prozessen und Materialien. AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ein leistungsstarkes und flexibles Compound-Halbleiterverarbeitungswerkzeug, das eine Vielzahl von Wachstumsprozessen ermöglicht. Seine fortschrittlichen Prozessfähigkeiten, automatisierte Gassteuerung und In-situ-Gasanalyse machen es zu einem idealen Werkzeug für die Geräteherstellung, Materialforschung und Prozessoptimierung.