Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256336 zu verkaufen
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ID: 9256336
Weinlese: 2011
MOCVD System
Capacity: 42x2", 11x4", 6x6"
Wiring: 4-Wire with Ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist ein fortschrittlicher metall-organischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD). Es ist eine Abscheidungsanlage, die eine chemische Quelle verwendet, wie Metall/organische Vorläufer, nanoskalige Filme und Strukturen zu schaffen. Das System ist für die Herstellung von heterogenen und homogenen Materialien wie Halbleiterkristallen, dünnen Filmen, Nanopartikeln und verwandten Nanostrukturen konzipiert. AIXTRON AIX 2800G4-HT verwendet hohe Temperaturen, um hochwertige und einheitliche Folien zu erzeugen. AIX 2800G4 HT ist eine Hochtemperaturabscheideeinheit mit hohem Durchsatz. Es ist mit einer Quarzkammer ausgestattet, die einen 4-Zoll-Wafer und einen 8-Zoll-Wafer aufnehmen kann. Diese Maschine bietet eine Vielzahl von Abscheideprozessen wie Niederdruck MOCVD (LP-MOCVD), Atmosphärendruck MOCVD (AP-MOCVD) und überkritische Flüssigkeit (SCF) Abscheidung. Es ist auch in der Lage, Materialdurchsatz bis 25 nm zu handhaben. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT ist mit einem eingebauten reaktiven Gaskontrollwerkzeug ausgelegt. Diese Anlage bietet eine breite Palette von Gasdurchsatz, Temperaturregelung und Druckregelung für eine Vielzahl von Filmen und Substraten. Dieses Modell ist auch mit einer Vielzahl von Prozessfähigkeiten zur Steuerung von Schlüsselparametern des Abscheidungsprozesses wie Reaktionstemperatur, Ausbreitungsgeschwindigkeit und Abscheiderate ausgestattet. Darüber hinaus ist AIX 2800G4-HT mit einer Option zur Prozessüberwachung und -steuerung ausgelegt. Die eingebaute Prozessüberwachungseinrichtung ermöglicht eine Echtzeit-Überwachung der verschiedenen Aspekte des Abscheidungsprozesses wie Abscheidungszustand, Gasdurchflussrate, Substrattemperatur und Filmdicke. AIXTRON AIX 2800G4 HT ist auch mit einer Rezeptbibliothek ausgestattet, die verwendet werden kann, um Ablagerungsrezepte für wiederholbaren Prozessbetrieb zu speichern und zurückzurufen. Insgesamt ist AIX 2800 G4 HT ein vielseitiges System, das benutzerfreundliche, hochwertige und ertragreiche Produktion von optoelektronischen Geräten, elektronischen Geräten und verwandten Nanostrukturen bietet. Es ist eine zuverlässige Einheit, die die Industriestandards für Folienqualität, Gleichmäßigkeit und Durchsatz erfüllt und Forschern und Herstellern hilft, Material zu schaffen, das für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann.
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