Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256418 zu verkaufen

Hersteller
AIXTRON
Modell
AIX 2800 G4 HT
ID: 9256418
Weinlese: 2011
MOCVD System Capacity: 42x2", 11x4", 6x6" Wiring: 4-Wire with Ground Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4 MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2 MFC: Horiba Temperature monitor: EPI TT Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase 2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT ist eine Spitzenreaktorausrüstung, die hauptsächlich im Bereich der Halbleiterepitaxie eingesetzt wird. Dieses System ist in der Lage, große Anbauflächen durchzuführen und ermöglicht die Produktion von Full-Chip CMOS und optoelektronischen Geräten mit kleinen Funktionsgrößen. AIXTRON AIX 2800G4-HT ist ein horizontaler Hochdurchsatz-Duschkopfreaktor mit drei Zonen, bestehend aus einem unteren Vorwärmer, einer Hochtemperatur-Wachstumskammer und einem Wärmetauscher. In der Hochtemperatur-Wachstumskammer können hohe Temperaturen und niedriger Druck mit Präzision gehalten und gesteuert werden. Der Hochdurchsatz-Brausekopf sorgt für einen gleichmäßigen Gasstrom und eine ausgezeichnete Gasgleichförmigkeit aus dem Pyrolyserohr und soll die Kammerverschmutzung reduzieren und weniger Partikel erzeugen als herkömmliche Systeme. AIX 2800G4 HT ist mit robusten Prozesskontroll- und Überwachungssystemen zur präzisen Schichtdickenregelung und zur detaillierten Rückmeldung von Parametern zur Schichtzusammensetzung ausgestattet. Seine in-situ Analysesysteme liefern Echtzeitinformationen über die Kristallgitterstruktur und die Schichtzusammensetzung während des Wachstumsprozesses. AIX 2800 G 4 HT bietet eine Reihe von Optionen zur Steuerung von Substraten, darunter einen Duschkopf zur gleichmäßigen Abscheidung, einen statischen Substrathalter mit einem Temperaturbereich von bis zu 1100 Grad Celsius, einen zweistufigen Plattformlift und einen automatisierten Substrataustauschmechanismus. Für maximalen Wirkungsgrad ist der Substratschieber mit einer RTP-Option (Rapid Thermal Processing) mit einem Temperaturbereich von bis zu 1045 Grad Celsius ausgestattet. AIXTRON AIX 2800G4 HT ist eine leistungsstarke und zuverlässige Einheit, die sich gut für Produktionsanwendungen eignet. Diese Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien mit ausgezeichneter Qualität und Reproduzierbarkeit herzustellen, was sie zu einer idealen Wahl für hochvolumige Halbleiterherstellungsprozesse macht. Mit seinem benutzerfreundlichen Steuerungstool können Anwender die Parameter ihres Wachstumslaufs einfach anpassen und überwachen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT ist mit umfangreichen Sicherheitsmerkmalen für einen zuverlässigen Betrieb wie Verriegelungen, Alarme und einem eingebauten Sicherheitssubstrathalter ausgestattet.
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