Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9302603 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
AIX 2800 G4 HT
ID: 9302603
Weinlese: 2008
MOCVD Systems 2008 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT Serie Reaktor von AIXTRON verwendet Hochtemperaturverfahren, um Dünnschichtmaterialien wie III-V und Gruppe III-V Verbindungen, Metalle und Dielektrika abzuscheiden. Es kombiniert sehr hohe Abscheidungsraten mit qualitativ hochwertigen Abscheidungsschichten, extrem präziser Prozesssteuerung, geringer Wartung sowie Störfestigkeit gegen prozessinduzierte Vibrationen. Damit sind Reaktoren der AIXTRON AIX 2800G4-HT Serie für Hochdurchsatzprozesse in der fortschrittlichen Halbleiter- und optoelektronischen Geräteproduktion optimiert. Die Reaktoren der AIX 2800G4 HT-Serie zeichnen sich durch Prozessautomatisierung, leistungsstarke Prozesssteuerung und schnelle EFEM-Steuerung aus. Der Reaktor bietet auch eine einzigartige Kombination aus hoher Leistung, sehr niedrigen Prozesstemperaturen, großflächiger Abscheidung und unübertroffener räumlicher Auflösung. Dies macht es ideal für Anwendungen mit Anforderungen an hohen Durchsatz mit kurzer Zykluszeit oder mit strengen Anforderungen an Gleichmäßigkeit und fehlerfreies Wachstum. AIXTRON AIX 2800 G 4 HT Serie verfügt über einen Tiegel mit 2,8 Zoll Durchmesser und einen Empfänger mit einer Höhe von 0,255 Zoll. Dadurch kann der Reaktor Schichten mit Genauigkeit und Gleichmäßigkeit abscheiden. Die ECM-Steuerung verfügt zudem über ein Warmwandofen-Design, das eine gleichmäßige Ofentemperatur mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Der Reaktor nutzt auch ein einzigartiges, sorgfältig konzipiertes Dual-Gas-Kontrollsystem für eine qualitativ hochwertige Abscheidung. Die Hauptmerkmale der Dual-Gas-Steuereinheit umfassen hohe Gasversorgungsstabilität, schnelle Gasaktivierung, Selbstreinigung von überschüssigem Gas und die Fähigkeit, Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen/zu steuern. Dieser hochmoderne Reaktor bietet zudem verbesserte Leistungs- und Sicherheitsmerkmale. Es kommt mit einer innovativen Inertgaskaskadenmaschine, die Prozesssicherheit während des Betriebs und reduzierte Ausfallzeiten gewährleistet. Es kommt auch mit künstlicher Intelligenz-basierte Datenanalyse und Prozess-Monitoring-Fähigkeiten, die verbesserte Prozesssteuerung und Optimierung ermöglichen. Der Reaktor der AIX 2800 G4 HT Serie ist ein perfektes Werkzeug für den Anbau fortschrittlicher Geräte mit hohen Durchsätzen und Parametern. Es bietet erstklassige Leistung sowie automatisierte und präzise Steuerung, Sicherheitsfunktionen und großflächige Abscheidung.
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