Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G4 TM #9381792 zu verkaufen
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AIXTRON AIX 2800 G4 TM ist ein fortschrittlicher Reaktor zur Herstellung von Verbundhalbleitermaterialien. Diese High-End-Maschine wird in der Erforschung und Entwicklung innovativer Verfahren zur Herstellung von Galliumnitrid (GaN) und verwandten Materialien eingesetzt und ist die weltweit führende Plattform für Indiumphosphid (InP) -Anwendungen. AIX 2800 G4 TM ist modular aufgebaut und umfasst vier unabhängige Prozessmodule. Dies sind ein Substrat-Vorverarbeitungsmodul, ein Cruiser High-Flow III-Modul, ein Werkstück-Heizmodul und ein CAU-Modul (Coater-Adjustable Concentricity and Uniformity). Das Substrat-Vorverarbeitungsmodul sorgt für eine gleichmäßige Substraterwärmung bis 600 ° C und ermöglicht das Vorglühen von Substraten, um eine optimale Filmbildung zu gewährleisten. Das Cruiser High-Flow III Modul ermöglicht eine hohe Gleichmäßigkeit und schnelle Prozessfähigkeit. Dieses Modul dient der präzisen Verwaltung und Übertragung von Wafern. Das Modul „Einstellbare Konzentrizität und Gleichmäßigkeit“ des Coaters sorgt für eine präzise Regulierung der Foliendicke über mehrere Prozessschritte hinweg. Dieses Modul ist in der Lage, eine zuverlässige und wiederholbare Dünnschichtbeschichtung in hohen Gasdurchflussraten durchzuführen. Der AIX 2800 G4 verfügt über eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen, wie eine Echtzeit-Benutzeroberfläche, die zur Optimierung des Abscheidungsprozesses beiträgt. Es bietet auch Temperatur- und Druckregelung, sowie Automatisierung des Prozesses. Der AIX 2800 G4 ist mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die einen Kurzschlussschutz und eine Übertemperaturkontrolle beinhalten, was ihn zu einem der sichersten Reaktoren auf dem Markt macht. Der AIX 2800 G4 wurde entwickelt, um Stabilität und Zuverlässigkeit bei der Herstellung komplexer Materialien mit Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es ist für mehrere Prozesse optimiert, von der Herstellung von III-V-Verbindungsmaterialien bis hin zur niedertemperaturmetalorganischen chemischen Dampfabscheidung (MOCVD). Der AIX 2800 G4 bietet flexible Substratkonfigurationen und eine Reihe von Funktionen, kombiniert mit Spitzentechnologien und Features-Upgrades und ist ideal für die Skalierung auf die Anforderungen der industriellen Produktion.
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