Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9241907 zu verkaufen

AIXTRON AIX 2800 G5 HT ist ein anspruchsvoller Hochdurchsatz- und Roll-to-Roll (R2R) -Produktionsreaktor, der zur Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien für optoelektronische, optomechanische und mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) verwendet wird. Es ist in der Lage, Temperaturen von 300C bis 1000C zu unterstützen und bietet eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit auf großen Substratflächen. Dieser Reaktor ist mit einer doppelten Quelle LLAG mit hoher Gleichmäßigkeit und wählbarer Energie ausgestattet, um flexible Prozessanforderungen zu erfüllen. Das Hochtemperaturdesign sorgt für hohes Dotierglühen und weniger Partikelhaftung. Zusätzlich unterstützt es die Dickschichtabscheidung sowohl im offenen als auch im geschlossenen Bereich. Der Reaktor hat spezielle Anwendungen, die metalorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) und atomare Schichtabscheidung (ALD) umfassen. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau des Reaktors erheblich erhöhte Durchsatzoptionen oder zusätzliche Endstationsanforderungen. AIXTRON AIX 2800G5 HT verfügt über eine Quarzreaktionskammer mit Temperaturgleichmäßigkeit bis 0.3C sowie ein Prozessgasfördersystem zu seinem In-situ-Gasmonitor. Dadurch kann der Reaktor Prozessgase in Echtzeit überwachen und quantifizieren. Es ist auch mit einem motorisierten Prozessdeck für eine effizientere Substratbeladung und -verarbeitung sowie einem automatischen Ausrichtsystem für Substrat an Bord ausgestattet. AIX 2800 G5 HT verfügt über erweiterte Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen, die eine verbesserte Prozesssicherheit, Wiederholbarkeit und Ausbeute ermöglichen. Es gibt Bereiche, in denen AIX 2800G5 HT besonders hervorsticht, wie die Prozesssteuerungssoftware THE E-Toolz, die es Kunden ermöglicht, kundenspezifische und Ad-hoc-Prozessrezepte sowie prozessparametrische Karten auf eigenen Systemen durchzuführen, anstatt auf externe Dienstleister zu setzen. AIXTRON AIX 2800 G5 HT bietet eine breite Prozessfähigkeit. Es ist führend in mehreren Prozessbereichen, wie Flüssigkeitsquellen, Thermoemittern für E-Strahl- und Ionenstrahlquellen und oberflächengesteuerten Dünnschichtprozessen. Der Reaktor ist auch mit Gasverteilungssteuerung für eine gleichmäßige Gas-/Dampfabgabe, Hochvakuum-Fähigkeiten und einer Hochleistungsabscheidungssteuerung ausgestattet. Abschließend ist AIXTRON AIX 2800G5 HT ein hoher Durchsatz und R2R Produktionsreaktor, der in der Lage ist, eine breite Palette von Temperaturbereichen und Prozessanforderungen zu unterstützen. Durch den modularen Aufbau und die erweiterten Funktionen der Prozesssteuerung und Automatisierung bietet es große Chancen für mehr Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und Ertrag. Darüber hinaus bieten die Funktionen wie THE E-Toolz für kundenspezifische und Ad-hoc-Prozessrezepte den Kunden mehr Kontrolle über ihre Verarbeitung.