Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9384948 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9384948
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 2011
MOCVD System, 2"-6"
GaN
Main pump: EBARA ESA80W-HDF
(2) Scroll pumps
RF Generator
Hydried line: NH3-1, NH3-2, SiH4
Chamber: 56x2''/ 8x6''
Temperature monitors:
Photrix LWL Luxtron
EpiTT x G5 x 405 nm
MO Sources:
TMGa-1
TMGa-2
TMAl-1
Cp2Mg-1
Cp2Mg-2
TMIn-1
TMIn-2
TEG-1
TEG-2
Power supply: 400/230 VAC, 3-Phase, 4-Wires+ground
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G5 HT ist eine produktionsgroße, kommerzielle Abscheideausrüstung, die die Herstellung hochwertiger Drahtgitterpolarisatoren (WGPs) und anderer dünnschichtbasierter optischer Komponenten ermöglicht. Es ist ein Hochtemperatur-Hybridwerkzeug, das in der Lage ist, die chemische Dampfabscheidung (CVD) von III-V-Materialien bei Temperaturen bis zu 1000 ° C und die direkte E-Strahl-Verdampfung von Metallen, Oxiden, Pigmenten und dielektrischen Schichten durchzuführen. AIXTRON AIX 2800G5 HT umfasst ein leistungsstarkes dreistufiges Spülsystem, ein schnelles Gleichstromnetzteil und einen hochpräzisen Abscheidekopf mit bis zu vier Spindeln. Das Gerät ist mit AIXTRON proprietären facettierenden Klingenhaltern ausgestattet, die eine Mehrwinkelabscheidung von WGPs sowie ein Nachdepositionsätzen und ein Oberflächenpolieren des fertigen Produkts ermöglichen. Die Maschine verfügt zudem über einen vollautomatischen, extrem präzisen Roboterarm für Materialbeladung, Entladung und Substrat-zu-Substrat-Übertragung. AIX 2800 G5 HT kombiniert ein kompaktes, durchsatzstarkes Design mit einer anspruchsvollen, fortschrittlichen Steuerung. Seine Benutzeroberfläche ist äußerst benutzerfreundlich und ermöglicht eine intuitiv geführte Einrichtung und schnelle Substrat-Batch-Verarbeitung. Das Tool umfasst eine integrierte Datenerfassung und Analyse-Suite sowie eine modernste automatisierte Leistungssteuerung für manuelles oder vollautomatisiertes Rezeptmanagement. Das leistungsstarke Diagnosemodul ermöglicht eine vollständige In-situ-Überwachung kritischer Parameter sowie die On-the-Fly-Fehlererkennung und -Korrektur. Die vollautomatisierten Prozessliefersysteme garantieren präzise, wiederholbare Dünnschichtabscheidungsprozesse und eine schnelle Abstimmung und Entwicklung über verschiedene Materialien und anwendungsspezifische Prozessbedingungen hinweg. Diese hohe Temperatur, präzise und leistungsstarke Abscheidung macht AIX 2800G5 HT zum perfekten Werkzeug für viele extrem genaue optische Dünnschichtanwendungen wie WGPs und viele andere dünnschichtintensive Anwendungen. Dank seiner hervorragenden Fertigungsfähigkeiten und präzisen Materialmanipulationsmöglichkeiten können Anwender einige der präzisesten, optisch präzisesten Komponenten auf dem Markt herstellen, was dieses Modell für Dünnschichtproduzenten wesentlich macht, die qualitativ hochwertigste Produkte benötigen.
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