Gebraucht AIXTRON AIX 2800 G5 #9358478 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
AIX 2800 G5
ID: 9358478
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G5 ist ein metall-organischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor (MOCVD) zur Herstellung von Verbindungshalbleitern. Der Reaktor ist darauf ausgelegt, eine präzise Abscheidung von Verbundschichten mit Dicken bis hin zu Monoschichten durchzuführen. Sein Design umfasst eine automatisierte Reaktionskammer, die Hochtemperatur- und Ultrahochvakuum (UHV) -Umgebungen ermöglicht, sowie einen 5-Zoll-Hochtemperatur- und UHV-Substrathalter. Dies ermöglicht eine Produktion, die höchsten Qualitätsstandards entspricht. AIX 2800 G5 ist ein Vollfarbsystem, das ein proprietäres LED- und digitales Bildgebungssystem verwendet, um das Filmwachstum in Echtzeit zu überwachen. Dadurch hat es einen kurzfristigen Genauigkeitsgrad von 0,005 nm (50 pm) und einen Langzeitgenauigkeitsgrad von 0,01 nm (100 pm). Die Konstruktion ermöglicht die Einstellung von Hintergrunddrücken bis zu 5x10-7 mbar sowie die Einstellung des Prozessdrucks von 8-60 mbar. Außerdem kann die Reaktionskammer je nach Verfahrensanwendung Temperaturen zwischen 25-900 ° C unterstützen. AIXTRON AIX 2800 G5 verfügt über ein Dual-Shutter-Design, wobei jeder Verschluss unabhängig voneinander gesteuert wird. Dies ermöglicht die Abscheidung zweier Materialien aus derselben Quelle in derselben Kammer. Darüber hinaus ist der Reaktor in der Lage, sowohl batchweise als auch kontinuierlich zu verarbeiten, je nach den Anforderungen der Anwendung. Im Hinblick auf die Sicherheit ist AIX 2800 G5 mit einem Gehäuse zum Schutz vor Gefahrstoffen gebaut. Zusätzlich sind Umgebungssensoren in und um die Reaktionskammer vorhanden. Diese Sensoren überwachen kontinuierlich die Prozessumgebung und warnen Operatoren, wenn sich ein beliebiger Parameter ändert. Dies hilft, einen sicheren und effizienten Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt ist AIXTRON AIX 2800 G5 ein leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von Verbundhalbleitern. Es ist für die Präzisionsabscheidung konzipiert, indem es Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) mit einem Dual-Shutter-Design kombiniert, wodurch komplexe Aufgaben in einer Kammer erledigt werden können. Dieses Gerät verfügt auch über eine genaue Überwachung von Filmwachstum und Umgebungssensoren, die die Sicherheit der Bediener und Geräte gewährleisten.
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