Gebraucht AIXTRON AIX G10 SiC #293829804 zu verkaufen
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ID: 293829804
Wafergröße: 6"
CVD System, 6"
PC Control system:
MES Interface
SECS II/GEM
MOVPE System
Router
Gas handling system:
MO-G1 Standard metalorganic channel
LOTO Valves for bubbler
GMS Cabinet external
MO-G2 Standard gas channel with pusher, HCL
MO-G4 Cascade with (3) Inject MFCs, C2H4
MO-G4 Cascade with (2) Inject MFCs, N2
MO-G2 Cascade with pusher, SiH₄
(2) MO-Differential run/vent pressure balancing's, MO, R/V Center
(2) MO-G3 Cascade double outlets, TMAI
(3) Carrier gas channel for balancing gas flow switching:
R/V Center
R/V Bottom
R/V MO
Process control:
EpiCurve TT AR 3W, 1800°C
Top Temperature Controller (TTC)
Autosat
Gas purification:
Spare provision for standard purifier: HCl, C2H4
(2) Single port hygrometer, valve and housings: H2, Ar
Ar limiter
Extension:
Vacuum tweezer for glovebox for handling wafer
Ar blower gun (PM)
Automation:
Cassette to cassette wafer handler
High temperature operation: 600°C
Ring Buffer Module (RBM)
Wafer cover ring
Cassette rings: 150 mm.
AIXTRON AIX G10 SiC ist ein modernster CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für das epitaktische Wachstum von Siliziumcarbid (SiC) -Materialien ausgelegt ist. Als weltweit führendes Technologieunternehmen, das sich auf die Produktion von Halbleiteranlagen spezialisiert hat, hat AIXTRON AIX G10 SiC-Reaktor entwickelt, um der wachsenden Nachfrage nach hochwertigen SiC-Materialien in Leistungselektronik, Telekommunikation und Automobilanwendungen gerecht zu werden. Der AIXTRON AIX G10 SiC Reaktor ist speziell für die Abscheidung von epitaktischen Schichten aus SiC auf Substraten optimiert und ermöglicht die Herstellung von Hochleistungs-SiC-Bauelementen wie Leistungsdioden, Transistoren und Sensoren. SiC bietet mehrere Vorteile gegenüber herkömmlichen Halbleitermaterialien wie Silizium, einschließlich höherer Durchbruchspannung, Wärmeleitfähigkeit und Temperaturtoleranz, wodurch es ideal für Anwendungen ist, die hohe Leistung und Hochfrequenzleistung erfordern. Der AIX G10 SiC-Reaktor verwendet eine horizontale, warmwandige CVD-Kammerkonfiguration, um eine gleichmäßige Abscheidung von SiC-Schichten auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll zu gewährleisten. Das Reaktordesign umfasst fortschrittliche Systeme zur Temperaturregelung und zur Steuerung der Gasströmung, um eine präzise Steuerung des Wachstumsprozesses zu erzielen, was zu sehr reproduzierbaren und qualitativ hochwertigen epitaktischen Schichten führt. Der Reaktor weist eine Hochtemperaturreaktorkammer auf, die Temperaturen bis zu 2000 Grad Celsius erreichen kann, die für die Abscheidung von SiC-Epitaxieschichten mit ausgezeichneter Kristallqualität und geringer Fehlerdichte erforderlich ist. Der Reaktor ist mit einem ausgeklügelten Gasfördersystem ausgestattet, das das präzise Einbringen von Vorläufergasen wie Silan (SiH4) und Methan (CH4) in die Kammer ermöglicht und ein kontrolliertes Wachstum von SiC-Schichten mit anpassbaren Dotierungsprofilen ermöglicht. Zusätzlich zu seinen erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen ist der AIXTRON AIX G10 SiC-Reaktor für einfache Bedienung und Wartung konzipiert, mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle, mit der Bediener Prozessparameter in Echtzeit überwachen und anpassen können. Der Reaktor ist auch mit Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um den Schutz der Bediener und der Umwelt während des Betriebs zu gewährleisten. Der AIX G10 SiC Reaktor eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für industrielle Produktionsanlagen, die SiC-Geräte mit hervorragenden Leistungsmerkmalen herstellen möchten. Die Skalierbarkeit und Flexibilität des Reaktors machen ihn zu einer idealen Plattform, um Wachstumsprozesse zu optimieren und neue Materialkonfigurationen zu entwickeln, um den sich entwickelnden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Insgesamt stellt der AIXTRON AIX G10 SiC-Reaktor eine hochmoderne Lösung für das epitaktische Wachstum von SiC-Materialien dar, die eine unübertroffene Leistung, Zuverlässigkeit und Prozesskontrolle für die Herstellung fortschrittlicher SiC-basierter Geräte bietet. Mit seinem innovativen Design und seinen fortschrittlichen Fähigkeiten ist der AIX G10 SiC-Reaktor bestrebt, die Entwicklung von Leistungselektronik und Halbleitertechnologien der nächsten Generation voranzutreiben.
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