Gebraucht AIXTRON AIX G5 HT #293690958 zu verkaufen
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ID: 293690958
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2016
System, 6"
GaN epitaxy: TMGa, Cp2Mg, TMAl, NH3, Disilane, H2 and N2
2016 vintage.
AIXTRON AIX G5 HT ist ein Hochleistungs-, Hochdurchsatz-Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) Reaktor für die Herstellung von fortschrittlichen Materialien und Bauelementen wie Halbleiter verwendet. Der Reaktor verwendet hochentwickelte Verfahren, um die korrekte Belichtung verschiedener Materialien mit den Plasma- und Substratkammerkomponenten zu gewährleisten. Wichtige Anwendungen AIXTRON AIX G 5 HT ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien kostengünstig herzustellen. Es ist in der Industrie für seine hohe Selektivität auf verschiedenen Materialsubstraten bekannt, von Silizium bis hin zu Hochleistungsmaterialien wie Galliumarsenid für Elektronik- und Optoelektronik-Anwendungen. Darüber hinaus ermöglichen stark reproduzierbare Produktionsprozesse und Prozesskontrollen eine erhöhte dimensionale und strukturelle Kontrolle und großflächige Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folien. G5 HT Programmierbare Prozesstechnologien AIX G5 HT bietet eine Reihe von Prozesstechnologien, die für den Erfolg jeder Materialabscheidung von entscheidender Bedeutung sind. Die programmierbaren Abscheidungsquellen ermöglichen es dem Anwender, mit verschiedenen reaktiven Spezies zu arbeiten, während die Gaszuführungssysteme den Einsatz von Trägergasen zur Zuführung der reaktiven Spezies in die Reaktionskammer ermöglichen. Darüber hinaus können Hochfrequenzgeneratornetzteile vollständig kundenspezifische Impulswellenformen erzeugen, um die Haftung zu erhöhen und die Gleichmäßigkeit der Filme zu verbessern. Plasmaquellen und Substratheizung Die Hochleistungs-Plasmaquelle und fortschrittliche Substratheiztechnik in AIX G 5 HT ermöglicht eine präzise Folienproduktion bei besserer Kontrolle der chemischen, strukturellen und mechanischen Zusammensetzung der Folien über große Flächen. Die Plasmaquelle im G5 HT ist leistungsfähig genug, um schnelle und zuverlässige Ätz- und Abscheidungsprozesse zu erreichen, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente von entscheidender Bedeutung sind. Sicherheit und Compliance AIXTRON AIX G5 HT ist in voller Übereinstimmung mit den einschlägigen Sicherheitsvorschriften konzipiert, um einen sicheren Betrieb und eine optimale Sicherheit für das Bedienungspersonal zu gewährleisten. Darüber hinaus wird der Reaktor überdrückt und unter Druck gesetzt, um eine schnelle Evakuierung von Gefahrstoffen und Dämpfen zu ermöglichen. Schließlich ist AIXTRON AIX G 5 HT auf Energieeffizienz ausgelegt und kann im halbdichten Modus arbeiten, um lange Prozesszeiten zu gewährleisten.
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