Gebraucht AIXTRON AIX G5 HT #9283176 zu verkaufen

AIXTRON AIX G5 HT ist ein Hochdurchsatz-MOCVD-Werkzeug zur Herstellung von Produkten auf III-V und Siliziumbasis. Der Reaktor weist eine allumfassende MOCVD-Prozesskammer für eine breite Palette von Substratgrößen von 1,3 „bis 8“ Durchmesser auf. Es verwendet ein breites Spektrum von III-V-Quellenmaterialien und/oder Silizium-Vorläuferquellen, um das Wachstum vieler einzigartiger optoelektronischer und Halbleiterbauelementstrukturen zu ermöglichen. AIXTRON AIX G 5 HT beinhaltet viele der neuesten Entwicklungen in der MOCVD-Technologie wie Dynamic Pressure Control, ein laserbasiertes Prozessüberwachungssystem, HF/Heizkammerprofilsteuerung sowie automatisierte Wafer-Positionierungs- und Austauschsysteme. Dies gewährleistet höchste Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit, verbesserte Produktausbeuten und eine umfassende Prozesskontrolle. AIX G5 HT Reaktor verfügt auch über eine vertikale Suszeptor-Design für Genauigkeit und Produktivität. Dieses vertikale Design ermöglicht eine bessere Kontrolle der Flachheit des Wafers und der Gleichmäßigkeit der Temperatur. Es verfügt auch über ein Vollfeldausrichtungssystem, das eine genaue und wiederholbare Waferpositionskontrolle und eine bessere Gleichmäßigkeitskontrolle ermöglicht. AIX G 5 HT wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren und Kosten zu senken, und enthält zahlreiche Funktionen, um die Prozesseffizienz zu steigern. Zu den verfügbaren Funktionen gehören AIXTRON Dynamic Pressure Control (DPC), ein laserbasiertes Prozessüberwachungssystem, HF/Heizkammerprofilsteuerung sowie automatisierte Wafer-Positionier- und Austauschsysteme. AIXTRON AIX G5 HT unterstützt auch eine umfangreiche Auswahl an Substraten, einschließlich einseitiger und doppelseitiger MOCVD-Prozesse sowohl für III-V- als auch für Silizium-basierte Produkte. Dies ermöglicht eine höhere Flexibilität im Produktdesign und verbesserte Ausbeuten. Um allen Qualitätskontroll- und Effizienzanforderungen der modernen optoelektronischen und Halbleiterbauelementproduktion gerecht zu werden, bietet AIXTRON AIX G 5 HT anspruchsvolle Prozesskontroll- und Überwachungsfunktionen. Diese Funktionen reichen von Standardprozessrezepten bis hin zu anspruchsvolleren digitalen logikbasierten Prozesssteuerungsalgorithmen und Sie können individuelle Prozessrezepte für maximale Flexibilität für komplexe Produktdesigns einrichten. Abschließend ist AIX G5 HT ein fortschrittlicher Reaktor, der speziell für die Hochdurchsatz-MOCVD-Verarbeitung von III-V und Produkten auf Siliziumbasis entwickelt wurde. Es beinhaltet die neuesten Entwicklungen in der MOCVD-Technologie, um wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse mit verbesserten Erträgen zu erzielen. Mit seinem vertikalen Suszeptor-Design, der dynamischen Drucksteuerung und zahlreichen anderen Funktionen ist es ein ideales Werkzeug für die moderne Produktion von optoelektronischen und Halbleiterbauelementen.