Gebraucht AIXTRON CCSH 30x2 #9353180 zu verkaufen

AIXTRON CCSH 30x2 ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der zur Abscheidung dünner Filme für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet wird. Der Reaktor verwendet eine doppelt-horizontale Zylinderkonstruktion, die eine hohe Abscheiderate und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Der Reaktor unterstützt auch eine Vielzahl von Prozessgasen und Ausgangsmaterialien, wie Silane für Schichten auf Siliziumbasis und Metallorganische für andere Metallschichten. CCSH 30x2 wurde entwickelt, um maximale Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat zu gewährleisten, indem eine Zwei-Zonen-Thermal-Coldwall-Technologie verwendet wird. Diese Sekundärkammer hilft, die Substrate innerhalb der Kammer gleichmäßig zu verteilen und auch unerwünschte Reaktionen zwischen Quellmaterialien und Prozessgas zu minimieren. Der Reaktor verfügt über zwei in situ Massenstromregler, um den Druck der Prozessgase genau zu steuern. AIXTRON CCSH 30x2 bietet auch In-situ-Überwachungsfunktionen. Ein programmierbares Scan-System ermöglicht eine präzise Regelung der Substrattemperatur und ein optisches Pyrometer ermöglicht schnelle und präzise Messungen der Substrattemperatur. Ein Quarzfenster in der Kammer ermöglicht optische Messungen des Abscheidungsprozesses wie Schichtwachstum und Schichtzusammensetzung. In CCSH 30x2 wird die Prozesskammer auf Temperaturen bis 1000 ° C erwärmt. Die Kammer ist mit einem Prozessgas, wie Stickstoff oder Helium, gefüllt. Modellquellen, wie Silane und metallorganische, dann verdampft und in die Kammer. Die Abscheiderate kann durch Manipulation des Prozessgasdurchflusses eingestellt werden. AIXTRON CCSH 30x2 kann entweder im Batch-Modus oder in einem kontinuierlichen Prozess betrieben werden. Im Batch-Modus werden die Substrate in die Kammer geladen, der Prozess beginnt und die Abscheidung kann bis zum Ende des Programms erfolgen. Im kontinuierlichen Modus werden die Substrate in die Kammer geladen und CCSH 30x2 legt die Schichten auf dem Substrat ab, während sie sich durch die Kammer bewegen. Dies ermöglicht eine Hochdurchsatzabscheidung, da der Reaktor ohne manuelle Handhabung der Substrate kontinuierlich laufen kann. AIXTRON CCSH 30x2 Reaktor ist ein nützliches Werkzeug zum Abscheiden von Dünnschichtmaterialien aufgrund seiner breiten Palette von Funktionen, Gleichmäßigkeit, Temperaturregelung und großer Substratgröße. Es bietet eine ausgezeichnete Plattform für die Herstellung von Folien mit hoher Wiederholbarkeit und Präzision.