Gebraucht AIXTRON Crius 30x2" #293587436 zu verkaufen

AIXTRON Crius 30x2 ist ein Polysilizium-Abscheidungsreaktor, der für die Herstellung einer Vielzahl von elektronischen Geräten entwickelt wurde. Der Reaktor nutzt eine fortschrittliche Hochfrequenz-Plasmaquelle und Ablationsquelle, um einen Polysiliziumfilm auf verschiedenen Wafern zu bilden. Der Crius 30x2 verfügt über eine 30cm x 2m Prozesskammer und ist somit ideal für die Großserienproduktion geeignet. Die Prozesskammer besteht aus Edelstahl und ist in einer pulsbelasteten und frequenzmodulierten kapazitiv koppelnden Prozesskammer untergebracht. Die HF-Leistung wird über ein Paar Graphitelektroden aufgebracht, die an ein Hochfrequenznetzteil angeschlossen sind. Die Stromversorgung verfügt über einstellbare spannungs- und frequenzgesteuerte Stufen, die unterschiedliche Bedingungen wie Reaktanten-Molverhältnisse und Substrattemperaturen ermöglichen. Die Prozessgasversorgung für AIXTRON Crius 30x2 besteht aus einem Gemisch aus Silan und einem Trägergas, wie Argon. Das Silan verdampft innerhalb der Kammer und die Reaktanten dissoziieren zu Polysiliziumfilmschichten. Die Temperatur der Kammer kann durch die Heizleistung des Endblocks, wo der Wafer platziert wird, gesteuert werden. Darüber hinaus verfügt AIXTRON Crius 30x2 über eine integrierte Druckregelung, die den entsprechenden Abscheidungsdruck für die Schichtdicke des Produkts ermöglicht. Die chemischen und strukturellen Eigenschaften der Folien können mittels In-situ-Diagnostik wie Spektroskopie und optischen Encodern überwacht werden. Der Reaktor verfügt zudem über eine integrierte Roboterarmeinheit, mit der die Wafer und In-situ-Monitore übertragen werden. AIXTRON Crius 30x2 bietet einen zuverlässigen und konsistenten Prozess für die qualitativ hochwertige Abscheidung von elektronischen Geräten und wurde entwickelt, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit in Produktionsumgebungen zu bieten. Sein fortschrittliches Design gewährleistet eine präzise Prozesskontrolle und eine enge Überwachung, um eine gleichbleibende Produktqualität sicherzustellen. Dieser Reaktor bietet eine wirtschaftlich effiziente Lösung für die Großserienfertigung und eignet sich für eine Vielzahl von Produktionsprozessen.