Gebraucht AIXTRON Crius 31x2 #293587442 zu verkaufen

Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius 31x2
ID: 293587442
Weinlese: 2008
MOCVD System 2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 ist ein großflächiger, batchgefertigter Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) Reaktor, der fortschrittliche elektronische, optische und nanoskalige Filmsysteme herstellt. Es ist ein sehr vielseitiges Werkzeug zur Herstellung komplexer, hochwertiger Schichten von II-VI-Verbindungen. Es verfügt über einen einzigartigen, hochmodularen Aufbau mit einer Reihe von Wachstumskammern und austauschbaren Bauteilen. Die Anlage eignet sich besonders für die Entwicklung und das Wachstum von Verbindungshalbleitermaterialien der nächsten Generation. AIXTRON CRIUS 31 X 2 Reaktor ist in der Lage, bis zu 21 Wafer pro Charge zu verarbeiten und gleichzeitig eine Vielzahl von Vorläufermaterialoptionen zu unterstützen. Seine modulare Bauweise macht es leicht konfigurierbar und ermöglicht einen schnellen und bequemen Austausch von Komponententeilen. Seine hermetisch abgedichtete Wachstumskammer beseitigt Materialkontaminationen und ermöglicht eine umfangreiche experimentelle Kontrolle, erhöhte Zuverlässigkeit und überlegene Prozesskonsistenz. Das System ist so konzipiert, dass es eine extrem präzise chemische Verteilung und Temperaturregelung bietet, während seine fortschrittliche Speichereinheit Vorläufer verdampfende und reaktive Verluste reduziert. Der Reaktor wurde speziell entwickelt, um Prozessflexibilität und eine optimierte Submikron-Abscheidung von Atomschichten zu bieten, die die Abscheidung von hochreinen, nanoskaligen Produkten ermöglicht. Seine modulare Konfiguration ermöglicht eine breite Palette von Wachstumsparametern und Pyrolyserezepten, die die Erstellung einer Vielzahl von hochspezialisierten II-VI-Verbindungen ermöglichen. Crius 31x2 verfügt auch über eine einzigartige und hochentwickelte Quarzquelle, die entwickelt wurde, um eine wiederholbare und konsistente Quelle für Wärmestrahlung zu liefern. Die Maschine ist mit einer Reihe von Sicherheits- und Umweltmerkmalen ausgestattet, einschließlich Hardware-Isolation und Begrenzungsventile, um zuverlässige Betriebssicherheit zu gewährleisten. CRIUS 31 X 2 unterstützt eine Reihe von Prozeßoptimierungsansätzen und bietet Datenrückkopplungsüberwachung, die eine engmaschige Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Tool eine Reihe von Diagnosewerkzeugen wie In-situ-Ellipsometer, Reflektometer und Quarzkristall-Mikrobalancen, die eine effiziente, langfristige Prozessüberwachung und -optimierung ermöglichen. Insgesamt ist der AIXTRON Crius 31x2 Reaktor ein fortschrittliches, hochmodulares und vielseitiges Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Schichten von II-VI-Verbindungen. Sein flexibles und zuverlässiges Design macht es zu einer idealen Wahl für die Entwicklung von optoelektronischen und nanomateriellen Technologien der nächsten Generation.
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