Gebraucht AIXTRON Crius 31x2 #293587446 zu verkaufen

AIXTRON Crius 31x2 ist ein Dreizonenreaktor für epitaktisches Wachstum und Abscheidung von Halbleiterfilmen und anderen Materialien. AIXTRON CRIUS 31 X 2 ist ein horizontaler Kaltwandreaktor mit drei Zonen. Das Gerät arbeitet entweder mit einer Einzel- oder Multisource-Konfiguration mit HF- oder DC-Leistung. Der Reaktor verfügt über erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, Prozessparameter genau zu steuern. Crius 31x2 verfügt über eine Lade- und Tieftemperatureintrittskammer, die das Beladen und Transportieren von Proben in einer sicheren Atmosphäre ermöglicht. Zusätzlich ist die Lastschließkammer vor dem Einbringen mit einem Ofen zur Vorbehandlung von Substraten ausgestattet. Die linke und rechte Quelle sind mit beweglichen Abschirmungen zur zonenweisen Strömungsregelung ausgestattet, die eine unabhängige Steuerung des Flusses für die verschiedenen Materialfolien ermöglicht. Der Reaktor umfasst auch eine vertikale Wachstumszone und einen Substrat-Halbleiterhalter, der eine präzise Betätigung und Positionierung bietet. Der Substrathalter ist in der Lage, das Substrat um bis zu 360 Grad zu drehen, was eine gleichmäßige Abscheidung und Wachstum ermöglicht. Die Temperaturregelung erfolgt über ein kombiniertes Heißwand- und Kaltwandprozessheizsystem, das eine Temperaturgleichförmigkeit über den Substrathalter gewährleistet. Darüber hinaus verfügt CRIUS 31 X 2 über eine integrierte optische Einheit und ein Spektrometer. Die optische Maschine wird verwendet, um den Wachstumsprozess zu überwachen, während das Spektrometer verwendet werden kann, um die Filmqualität und seine Energiebandlücke zu analysieren. Eine Reihe von Drücken sind auch in AIXTRON Crius 31x2, mit Bereichen zwischen 30 mTorr und 760 Torr. In puncto Sicherheit ist AIXTRON CRIUS 31 X 2 standardmäßig mit manuellen und programmierbaren Sicherheitsverriegelungen ausgestattet, die einen sicheren Betrieb des Werkzeugs ermöglichen. Zusätzlich ist ein Fernüberwachungs-Asset enthalten, das einen Echtzeitstatus des Modells während des Betriebs ermöglicht. Diese Funktion erhöht die Sicherheit der Ausrüstung sowie eine fortschrittliche Prozessüberwachung. Abschließend ist Crius 31x2 Reaktor ein leistungsfähiges epitaktisches Wachstumssystem, das fortschrittliche Prozesssteuerung, Lastverriegelung und Substrathalter-Fähigkeiten nutzt, um eine gleichmäßige Abscheidung und Wachstum zu bieten. Die fortschrittliche optische Einheit und das Spektrometer ermöglichen eine genaue Analyse der Filme und ihrer Eigenschaften. Der Reaktor umfasst auch Sicherheitsverriegelungen und Fernüberwachung, die seine Sicherheit und Zuverlässigkeit weiter erhöhen.