Gebraucht AIXTRON Crius 31x2 #293650409 zu verkaufen

AIXTRON Crius 31x2 ist ein Prozessreaktor für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist ein entferntes Plasma mit Dual-Zone-Abscheidung, speziell für MBE und VPE Wachstumsprozesse entwickelt. Als Dualzonen-Ausrüstung ermöglicht AIXTRON CRIUS 31 X 2 eine unabhängige Temperaturregelung sowohl der Haupt- als auch der Hilfsprozesskammer. Die Hauptkammer wird typischerweise für MBE verwendet und ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien mit ausgezeichneter Temperaturgleichförmigkeit auch unter Hochdruckbedingungen. Diese Temperaturgleichmäßigkeit ist durch die gleichmäßige Warmwandgestaltung der Kammer möglich, die einen Triax-Graphit-Einsatz für eine effektive Wärmeisolierung beinhaltet. Dieses Design minimiert auch Wärmeaustritt in die Umwelt und verbessert die Effizienz des Systems. Die Hilfskammer wird im allgemeinen für Dampfphasenabscheidungstechniken wie VPE verwendet. Es zeichnet sich durch Plasmabildung mittels ferninduktiver Kopplung an eine interne Elektrode aus und erzeugt hochgleichmäßige Plasmen mit einem breiten Spektrum von Plasmaleistungen, vergleichbar denen von High-End-PECVD- und ICP-Quellen. Die Kaltwandgestaltung der Kammer gewährleistet auch eine gute Wärmedämmung, wodurch ein thermisches Gefälle in der Abscheidezone eliminiert wird. Dies gewährleistet eine gleichbleibend hohe Abscheiderate und Schichtqualität. Crius 31x2 ist auch extrem flexibel und unterstützt eine breite Palette von Substraten, Wafern und Substrathaltern. Seine vielseitige Ladekammer ermöglicht eine optimierte Substratheizung und -kühlung sowie die Abscheidung von Materialien mit unterschiedlichen Diffusionslängen und Substratmaterialdichten. Es verfügt auch über aseptisches Be- und Entladen, so dass ein sauberer, kontaminationsfreier Prozess gewährleistet ist. Um die Prozesseffizienz zu maximieren, ist CRIUS 31 X 2 mit einer Vielzahl von Sensoren ausgestattet, einschließlich Temperatursensoren und einem optischen Emissionssensor. Diese überwachen die thermischen Bedingungen und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Abscheidungsschichten auch bei schnellen thermischen oder Zusammensetzungsübergängen. Schließlich ist das Gerät auch auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Die integrierte Steuerungs- und Überwachungsmaschine ist intuitiv und benutzerfreundlich und ermöglicht eine einfache Bedienung, Datenprotokollierung und Werkzeugdiagnose. Dies gewährleistet die volle Reproduzierbarkeit von Prozessen und erstklassigen Ergebnissen in der Produktion.