Gebraucht AIXTRON Crius 31x2" #9186414 zu verkaufen

AIXTRON Crius 31x2 ist ein Hochleistungsreaktor der nächsten Generation, der für Kristallwachstumsanwendungen entwickelt wurde. Es handelt sich um einen nachgeschalteten, horizontalen Czochralski-Reaktor, der ein Zweizonentiegelheizverfahren zum Kristallwachstum anwendet. Dieser Reaktor nutzt ein pyrometergesteuertes Heizprofil zur Regelung der Ofentemperaturen von 660 bis 2400 ° C. Dies bietet eine präzise Temperaturregelung für eine breite Palette von Materialien, einschließlich Halbleitern und optischen Materialien. Der Crius-Reaktor ist mit einem Gaseinlasssystem ausgestattet und kann eine Vielzahl von inerten oder arbeitenden Gasen leicht unterstützen. Dieses System ermöglicht bei Bedarf die Oxidation oder das Gettering von Kristallen im Ofen. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine kontrollierte Atmosphäre und Stickstoffreinigungsfähigkeiten, so dass er für jede Wachstumsumgebung geeignet ist. Der Reaktor beinhaltet eine SCR-gesteuerte Stromversorgung, die Hochfrequenzleistung und geringe harmonische Verzerrung bietet, Wellen und Eingangsspannungsschwankungen reduziert und die effektive Stromversorgung innerhalb von 0,5% der eingestellten Spannung hält. Der Reaktor ist aus volllegierten Werkstoffen, einschließlich Stählen und Edelstählen, aufgebaut und mit minimierten thermischen Beanspruchungen ausgelegt, was seine Lebensdauer erhöht. Der Crius-Reaktor hat auch eine sehr geringe thermische Drift und eine ausgezeichnete Stabilität, so dass niedertemperaturgesteuerte Anwendungen möglich sind. Darüber hinaus verfügt der Crius 31x2 über einen modularen Aufbau, der eine einfache Integration verschiedener Prozesswerkzeuge wie In-situ-Gasanalysatoren, Wärmebildsysteme und andere Prozessüberwachungswerkzeuge ermöglicht, indem Zugriffsports und Datenerfassungsfunktionen überwacht werden. Dieser Reaktor verfügt über eine programmierbare Rampenrate und automatische Spitzentemperaturanpassungsfunktionen, um ein präzises Temperaturprofil zu erhalten und ein Kristallwachstum mit ausgezeichneter Homogenität und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Der Crius 31x2 verfügt über eine große Kammergröße mit einer hohen Materialdurchsatzkapazität und ist somit ideal für Anwendungen mit hoher Produktion geeignet. Der Reaktor weist eine Kammertemperaturgleichförmigkeit von ± 3 ° C und ± 0,2 ° C Temperaturstabilität auf, auch bei Änderung der Materialbeladung oder des Gasstroms. Es ist zuverlässig, effizient und benutzerfreundlich und bietet eine sichere Kristallwachstumsumgebung.