Gebraucht AIXTRON Crius 31x2" #9186418 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius 31x2"
ID: 9186418
Weinlese: 2009
MOCVD System 2009 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 ist ein vertikaler, induktiv gekoppelter Plasmareaktor mit 31x2 Zoll Kammer, der für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen geeignet ist. Die Geräte können zum Ätzen, Abscheiden und anderen Oberflächenbehandlungsprozessen verwendet werden. Es wurde entwickelt, um eine leistungsfähige und zuverlässige Lösung für diejenigen zu sein, die qualitativ hochwertige Produkte aus ihren Prozessen erzielen möchten. Das Crius 31x2-System bietet eine Reihe von Funktionen, die für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen geeignet sind. Es wird mit einem fortschrittlichen HF-Generator, Gaseinspritzsystemen, einer präzisen Temperatur-, Druck- und Plasmasteuerung und einer fortschrittlichen Wafer-Transporteinheit geliefert. Es bietet auch erweiterte Datenprotokollierung und -berichterstattung, um den Herstellungsprozess zu überwachen und zu optimieren. Der Crius 31x2 hat eine robuste Kammerkonstruktion, die die Verarbeitung großer Wafer und höhere Durchsatzraten ermöglicht. Es ist mit einem Standard 8 "Suszeptor ausgestattet, der bei Bedarf für größere Wafer aufgerüstet werden kann. Die Maschine eignet sich hervorragend für Prozesse, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern, wie Meteoritenätzen und dielektrische Abscheidung. Das Werkzeug verwendet eine Reihe spezialisierter Prozessgase, von Standard-Ätzgaszusammensetzungen bis hin zu Dielektrika und Edelmetallen. Die Gase werden über ein pneumatisches Ventil und Mehrwegegaseinspritzsysteme in die Kammer eingespritzt, was eine präzise Gassteuerung und -dosierung ermöglicht. Das in der Kammer erzeugte Niederdruckplasma wird mit einem speziellen HF-Generator aufrechterhalten, was eine präzise Steuerung und überlegene Ergebnisse ermöglicht. Der Crius 31x2 ist mit einem fortschrittlichen Wafer-Transportmittel ausgestattet, das das automatische Be- und Entladen der Kammer ermöglicht, was hilft, den Prozess zu beschleunigen und die Handarbeit zu reduzieren. Es ist auch mit einem speziellen Druckregelungsmodell ausgestattet, das hilft, den Kammerdruck auf einem konstanten Niveau zu halten und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu verbessern. Insgesamt ist AIXTRON Crius 31x2 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, das bei der Herstellung hochwertiger Produkte für verschiedene Branchen unterstützt. Es bietet hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit, Geschwindigkeit und Kontrolle, so dass es ideal für eine Reihe von industriellen Anwendungen.
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