Gebraucht AIXTRON Crius 31x2" #9353179 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius 31x2"
ID: 9353179
Weinlese: 2008
MOCVD System 2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 ist ein fortschrittlicher, produktionsfertiger, plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD), der speziell für die Herstellung von Hochleistungshalbleitern und Optoelektronik entwickelt wurde. Es bietet Verarbeitungsflexibilität und überlegene Prozesssteuerung in einer Vielzahl von Anwendungsbereichen wie Optoelektronik, Nanoelektronik, Flachbildschirme, Solarzellen, MEMs und Leuchtdioden (LEDs). Dieses Gerät bietet eine breite Palette von Funktionen, die die Prozessleistung optimieren und eine überlegene Rampe bis zu hohen Serienraten ermöglichen. Der PECVD-Prozess im AIXTRON Crius 31x2 Reaktor basiert auf der Erzeugung eines Plasmas im Hochvakuum. Das Plasma dient zur Erwärmung der Vorläufergase, die dann gemeinsam reagieren und auf ein Substrat abgeschieden werden. Mit diesem Verfahren können verschiedene Materialarten wie Oxide, Nitride und Metalle bei Temperaturen zwischen 25 und 500 ° C abgeschieden werden. Das System wurde mit einer fortschrittlichen Echtzeit-Prozesssteuerung entwickelt, um wiederholbare und zuverlässige Abscheideprozesse zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine optimierte Auslegung von wiederholbaren Prozessschritten und eine genaue Prozessüberwachung, um die gewünschten Abscheideeigenschaften zu erreichen. AIXTRON Crius 31x2 Reaktor bietet überlegene Prozessflexibilität mit der Fähigkeit, Substrate bis zu einem Durchmesser von 350mm zu verarbeiten. Die Maschine nutzt eine optimierte, hochzuverlässige Glockenquelle von bis zu zwei Gasquellen, die den Gasvorratsbedarf minimieren und Ausfallzeiten für große Wafer-Produktionschargen reduzieren soll. AIXTRON Crius 31x2 ist ein produktionsfertiges Werkzeug, das einfach zu bedienen ist und eine minimale Wartung erfordert. Das Asset bietet außerdem einen vollständigen Parametersatz und erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich Echtzeit-Prozess-Feedback und Datenprotokollierungsfunktionen. AIXTRON Crius 31x2 verfügt über ein integriertes Sicherheitsmodell, das die versehentliche Exposition gegenüber potenziell gefährlichen Materialien minimiert. Dazu gehören mehrere Sicherheitsschichten wie mehrere Sicherheitsverriegelungen, die Überwachung gefährlicher Parameter und die Möglichkeit, die Ausrüstung im Notfall abzuschalten. Das System verfügt außerdem über sehr niedrige Vibrationen und einen geringen Stromverbrauch, um die Betriebskosten zu minimieren. Zusammenfassend ist AIXTRON Crius 31x2 ein leistungsstarker, produktionsfertiger PECVD-Reaktor, der den Anforderungen der Optoelektronik- und Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet fortschrittliche Prozesssteuerung und eine breite Palette von Prozessfähigkeiten in einem zuverlässigen und sicheren Paket. AIXTRON Crius 31x2 ist eine kostengünstige Lösung für Serienreihen und bietet maximale Flexibilität für eine breite Palette von Fertigungsprozessen.
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