Gebraucht AIXTRON Crius 31x2" #9383394 zu verkaufen
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ID: 9383394
Weinlese: 2008
MOCVD System
GaN
Chamber
Main pump: EBARA ESA70W-D
Scroll pump
AFFINITY Chiller
RF Generator size: 1210 mm x 1200 mm x 2100 mm (L x W x H)
MO Source: TMGa-1, TMAI-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TMIn-3 (7)
MFC Type: BRONKHORST EL-Flow
Temperature monitor: EPI Twin TT
Hydride lines: NH3-1 / NH3-2 / SiH4
Heater voltage: AC 400V, 3-Phase
Wiring: 4-Wires and ground
Power supply: AC 208/120V, 3-Phase
2008 vintage.
AIXTRON Crius 31x2 ist ein handelsüblicher Metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) Reaktor. Es ist einer der führenden vertikalen 2-Zoll-Reaktoren der Welt und in der Lage, Einzel-Wafer 200mm Wafer zu produzieren. Der Reaktor wird von AIXTRON hergestellt, einem weltweit führenden Anbieter fortschrittlicher Ausrüstungen für die Halbleiter- und Elektronikindustrie. Der Crius 31x2 verfügt über einen Spulenbogen induktive Spulen, runde Keramik Tiegel, festen bipolaren HF-Generator und Last-Lock-Wafer-Handling-System. Die Induktionstechnologie des Crius 31x2 bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit für die Abscheidung von Nitriden und Oxiden. Der runde Keramiktiegel bietet zudem eine verbesserte thermische Gleichmäßigkeit für die gleichmäßige Abscheidung von dünnen Folien auf Mono- und Mehrschichtscheiben. Der Crius 31x2 ist zudem mit einem Temperaturregelsystem und einer Computersteuerung ausgestattet. Diese Funktion ermöglicht eine präzise Temperaturregelung, die eine optimale Gleichmäßigkeit und Abscheidungsergebnis gewährleistet. Das Druckregelungsmerkmal dieses Reaktors ermöglicht auch eine erhöhte Ausbeute und reduzierten Abfall. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über einen hohen Automatisierungsgrad, der zur Vereinfachung des Betriebsprozesses und zur schnelleren, präziseren Herstellung von Wafern beiträgt. Der Crius 31x2 ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt, was ihn sehr korrosionsbeständig und andere Arten von Umweltgefahren macht. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine hervorragende Wärmedämmung, die einen minimalen Energieverbrauch und einen erhöhten Wirkungsgrad ermöglicht. Der Crius 31x2 ist zudem mit modernsten Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die sicherstellen, dass der Reaktor sowohl für das Bedienpersonal als auch die Umgebung rund um ihn sicher ist. Es verfügt über elektro-behandelte Schutztüren zur Vermeidung von Geräteschäden und garantiert die Sicherheit des Personals. Darüber hinaus wurde der Crius 31x2 entwickelt, um eine breite Palette von Anwendungen mit längeren Prozessabläufen bereitzustellen. Es funktioniert am besten mit der Einführung von hohen Abscheideraten für dickere Materialien, was effizientere Herstellungsprozesse ermöglicht. Darüber hinaus ist der Reaktor mit großer Werkzeugprüfbarkeit ausgestattet, was zu weniger Stillstandszeiten und einer reduzierten Zeit für die Diagnose und Lösung technischer Probleme führt. Insgesamt ist AIXTRON Crius 31x2 ein fortschrittlicher metall-organischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der eine Vielzahl von Vorteilen für die Herstellung dünner und dicker Filme auf Ein- und Mehrschichtwafern bietet. Seine fortschrittliche Technologie, überlegene Einheitlichkeit, erweiterte Sicherheitsfunktionen und Automatisierung vereinfachen den Herstellungsprozess und erhöhen die Produktivität und Erträge.
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