Gebraucht AIXTRON Crius 31x2" #9390892 zu verkaufen

AIXTRON Crius 31x2 ist ein hochmoderner Molekularstrahl-Epitaxie-Reaktor (MBE), der für fortschrittliche Halbleiterforschung entwickelt wurde. Mit einem Drei-Kammer-Design, einer reaktiven Gasquelle, einer leistungsstarken HF/DC-Stromversorgung und in situ Diagnosesystemen bietet es eine hervorragende Prozesskontrolle und Epilayer-Qualität. Der Crius 31x2 hat drei Kammern: eine Wachstumskammer, eine Lastschloßkammer und eine Ätzkammer. Die Wachstumskammer, die Substrat und HF-Quelle beherbergt, hat 3000 Kubikzentimeter maximales Kammervolumen, was eine größere Materialabscheidung ermöglicht. Die Lastschloßkammer dient der Probenbeladung und der Bereitstellung von Proben für die Prozesskammer. Die Ätzkammer dient zur Ätzrate von Proben und weiteren Probenreinigung. Die integrierte Reaktivgasquelle des Crius 31x2 liefert hochreaktive Gase genau für den Grenzquellenabbau und Materialwachstum. Das eingebaute Hochleistungs-HF/DC-Netzteil mit einstellbarer Leistung bis 500 Watt sorgt für Prozessgleichförmigkeit und hohe Epi-Layer-Qualität. Die In-situ-Diagnosesysteme wie Ellipsometer, STEM, LEED und RHEED ermöglichen eine On-Line-Überwachung von Substrat, Epi-Schichten und Probencharakterisierung, was die Prozesskontrolle erheblich verbessert. Der Crius 31x2 ist in der Lage, Epi-Schichten mit verschiedenen Prinzipschichten von III-V, IV/II-VI bis zu breiten Bandlückenmaterialien in einkristalliner Form herzustellen. Es arbeitet unter Ultrahochvakuum-Bedingungen für unberührtes Materialwachstum. Es ist auch mit verschiedenen Technologien ausgestattet, wie Zn-Aussaat, Glühen und Interdiffusion, um die Epi-Schicht-Qualität weiter zu steigern. Der Crius 31x2 ist ein hochmoderner MBE-Reaktor mit hervorragender Prozesssteuerung und Epi-Layer-Qualität. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Epi-Schichten aus III-V, IV/II-VI und breiten Bandlückenmaterialien mit überlegener Gleichmäßigkeit, Qualität und Reproduzierbarkeit herzustellen. Es ist ein wertvolles Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterforschung in verschiedenen Branchen wie Unterhaltungselektronik, Automobil und Telekommunikation.