Gebraucht AIXTRON Crius I #293661393 zu verkaufen

AIXTRON Crius I ist ein Abscheidungsreaktor für den Einsatz in der Hochdurchsatzverarbeitung von Dünnfilmbeschichtungen. Es verfügt über eine große Reaktionskammer, die bis zu 35 cm ^ 2 Wafer verarbeiten kann und einen großen Arbeitsbereich von bis zu 1500 ° C bietet. Crius I enthält eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die eine präzise Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglichen. Es verfügt über eine effiziente Gasströmungsausrüstung und einen niedrigen Hintergrunddruck für eine verbesserte Abscheidungsqualität. Darüber hinaus weist sie eine Bordgasaufbereitungseinheit zur Erleichterung der Verwendung von Reaktivgasgemischen auf. Das System umfasst auch AIXTRON einzigartige AutoFeedTM automatische Wafer Handhabung Einheit, die verwendet werden kann, um automatisch bis zu zwanzig Wafer in die Kammer zu übertragen, ohne die Reaktortür zu öffnen. Die Reaktionskammer von AIXTRON Crius I ist mit einem fortschrittlichen Elementregler ausgestattet, der eine präzise Steuerung von Temperatur, Mikrodruck, Gasfluss und HF-Leistung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über ein hocheffizientes, direkt beheiztes, keramikbeschichtetes, warmwandiges Suszeptor-Design. Dies ermöglicht ein schnelles Ansprechen der Heißwand für ein effizientes Abscheidungswachstum bei hohen Temperaturen. Darüber hinaus enthält Crius I einen horizontalen Duschkopf, der eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Waferoberfläche gewährleistet. AIXTRON Crius I ist in mehreren Konfigurationen erhältlich, die in der Kammergröße, Prozesstemperatur und Substrathandhabung variieren. Die Maschine wurde auch so konzipiert, dass sie mit einer Vielzahl von Materialien kompatibel ist. Dadurch eignet es sich für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsprozessen, einschließlich Oxid, Nitrid und Silizium-Germanium-Abscheidung. Darüber hinaus gewährleisten das leistungsstarke Steuerungswerkzeug und seine integrierten Sicherheitsmerkmale eine sichere und zuverlässige Bedienung und Wiederholbarkeit der Prozesse. Insgesamt ist Crius I ein leistungsstarker Abscheidungsreaktor, der zahlreiche erweiterte Funktionen und eine leistungsstarke Steuerung des Abscheidungsprozesses bietet - all dies macht ihn zu einer idealen Lösung für Dünnschichtabscheidungsanwendungen mit hohem Durchsatz.