Gebraucht AIXTRON Crius I #9065475 zu verkaufen

AIXTRON Crius I ist ein handelsüblicher, induktiv gekoppelter Plasmareaktor (ICP). Dieser Reaktor bietet die beste Leistung in der Substratgleichförmigkeit und hohe Ätzraten, so dass es eine ideale Wahl für die Hochskalierung Produktion. Dank seiner kompakten Stellfläche und der geringen Gesamtbetriebskosten ist es für eine Reihe anwendungsspezifischer Anforderungen hochgradig konfigurierbar. Crius I hat einen einfachen, modularen Aufbau. Der zylinderförmige Kammer- und Endring sind aus Edelstahl gefertigt und weisen einen Wasserkühlmantel auf, der eine stabile Betriebstemperatur von bis zu 1000 ° C ermöglicht. Der Substrathalter ist aus Graphit gefertigt und hat eine flache Fläche zur Aufnahme großer Substrate bis 100 mm Durchmesser. Ein HF-Generator versorgt die Induktionsspulen des Reaktors mit der Erzeugung der notwendigen ICP-Plasmen und ist mit einem Controller verbunden, um eine präzise Steuerung der Plasmaparameter zu gewährleisten. AIXTRON Crius I verwendet Hochgeschwindigkeits-Digitaltechnologie, um eine sehr gleichmäßige Plasmaabscheidung zu ermöglichen. Seine fortschrittliche Duschkopf RF Bias Control ermöglicht die gleichmäßige Abscheidung verschiedener Arten auf dem Substrat für optimale Prozesse. Es verfügt auch über eine High-Speed End Ring RF Bias Control, um eine gleichmäßige Verteilung der Metallarten entlang der Kammerwände zu gewährleisten, was zu einer verbesserten Ätzgleichmäßigkeit führt. Crius I bietet auch eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen wie einen Flammenableiter, der das Ausbreiten der Flamme auf andere Komponenten verhindert, und eine integrierte Funkenerkennungs- und Steuereinheit. Es verfügt über eine einfache, aber zuverlässige Konstruktion, die für den kontinuierlichen Betrieb über lange Zeiträume bei hohen Temperaturen ausgelegt ist, so dass es ideal für Hochleistungsbetrieb mit hohem Volumen ist. Insgesamt ist AIXTRON Crius I ein fortschrittlicher ICP-Reaktor im kommerziellen Maßstab, der eine beispiellose Leistung, kompakte Stellfläche und niedrige Gesamtbetriebskosten bietet. Es ist eine ideale Wahl für die Hochskalierung der Produktion und die Maximierung der Erträge in großvolumigen Anwendungen.