Gebraucht AIXTRON Crius II #293591984 zu verkaufen

AIXTRON Crius II ist eine modernisierte Produktionsversion der von AIXTRON entwickelten Crius Low Pressure CVD (LPCVD) -Ausrüstung. Crius II ist ein Multi-Wafer-Reaktor, gekennzeichnet durch seine Fähigkeit, eine überlegene konforme, gleichmäßige und wiederholbare Abscheidung von Vorläufern auf eine Vielzahl von Wafersubstraten bereitzustellen. Vorläufermaterial wird abgedichtet und dann in eine CVD-Kammer gefördert, wo die Ablagerung bei niedrigeren Drücken (1-200 mbar) und niedrigen Temperaturen (200-600 ° C) gebildet wird. AIXTRON Crius II ist eine zuverlässige, kostengünstige Lösung für eine Reihe von Forschungsanwendungen. Sein kleines Kammerdesign minimiert thermische Belastungen und bietet maximale Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von Ablagerungen. Die Niederdruckumgebung verhindert, dass Radikale die Qualität der resultierenden Abscheidung beeinflussen. Somit ermöglicht Crius II gleichbleibende Dickenschwankungen bis zu 0,5 nm. Darüber hinaus kann der Reaktor mit seinem breiten Spektrum an Temperatur- und Druckkombinationen verschiedene Materialzuwächse effizient bewältigen - einschließlich der Abscheidung von Halbleiter- und magnetischen Materialien. Neben der inhärenten Präzision von AIXTRON Crius II wurde die Kammer weiter mit AIXTRON 'ReadyPLUS' Steuerungssystem ausgestattet. Dazu gehören ein einzigartiges Design der Kammergeometrie mit verbesserten Gehäuseschichten, eine automatische und manuelle Zonensteuerung, verbesserte Kühl- und Heizsysteme für eine gleichmäßige Temperatur und eine einstellbare Gasflussüberwachungseinheit. Um eine Prozessflexibilität zu erreichen, ist Crius II ferner in der Lage, Algorithmen der 'sequentiellen Abscheidung' und 'Sequence flow control' zu verwenden, um die Abscheidung mehrerer Schichten verschiedener Materialien in einer Kammer zu ermöglichen. Diese wegweisende Steuerungsmaschine bietet auch Funktionen wie automatisierte Kohlenwasserstoffentfernung, routenabhängiges Rezeptmanagement und präventive Wartungsfunktionen. Zusammenfassend ist AIXTRON Crius II ein fortschrittliches LPCVD-Werkzeug, das für eine Vielzahl von Materialabscheidungsanwendungen ausgerüstet ist. Mit seinen präzisen und wiederholbaren Abscheidungsfähigkeiten und seiner ausgeklügelten Steuerung ist Crius II eine ideale Wahl für Forscher auf dem Gebiet der Halbleiter- und magnetischen Abscheidungen.