Gebraucht AIXTRON Crius II #293607523 zu verkaufen

Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius II
ID: 293607523
Weinlese: 2010
MOCVD System Chamber, 2" Source: TMGa-1, TMGa-3, TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, (7) TMAl-1 (4) Wires with groung wiring ARGUS Temperature monitor Hydride lines: NH3-1 / NH3-2 / SiH4 GaN Gouve (2) RAUDA RE235 Baths (4) NOAH Precision baths HORIBA MFC Type AFFINITY Chiller Power supply: 208 / 120 V AC, 3-Phase Heater voltage: 380 V AC, 3-Phase Does not include (2) Scroll pumps 2010 vintage.
AIXTRON Crius II ist ein Reaktor der Firma AIXTRON, der speziell für die Forschung und Entwicklung von fortschrittlichen Halbleitern und LEDs entwickelt wurde. Crius II ist eine Sequenz aus drei Modulen - Dual-Substrat MOCVD, Single Wafer Showerhead und dem Gleeble Simulator, der es dem Anwender ermöglicht, genaue Messungen ihrer Wachstums- und Abscheidungsmethoden vorzunehmen. Der Dualsubstrat-MOCVD-Reaktor ist eine Ausrüstung, die es dem Benutzer ermöglicht, die Vorteile der Molekularstrahl-Epitaxie (MBE) und der organischen chemischen Metalldampfabscheidung (MOCVD) zu nutzen. Das System verwendet ein programmierbares Ventil und eine Reihe von Vakuumpumpen, um eine höhere Wachstumsrate zu schaffen, Kosten zu senken und die Effizienz zu steigern. Dieser Reaktor kann auf drei Arten epitaktisch wachsen: MBE, MOCVD und autoklavgestütztes epitaktisches Wachstum. Der Reaktor kann auch für bis zu acht Quellen für Mono-, Mehrschicht- und 3D-Strukturen konfiguriert werden. Der Einzel-Wafer-Duschkopf ermöglicht es dem Benutzer, hochwertige Materialschichten auf Waferebene abzulegen, mit einem Minimum an Ausfallzeiten zwischen Wi40afer-Updates und Substratwechseln. Die patentierte Drehscheibe ermöglicht gleichmäßige Ablagerungen im gesamten Wafer ohne manuellen Eingriff. Der Gleeble Simulator bietet Anwendern auch die Möglichkeit, Temperaturprofile und thermische Prozesse zu simulieren, mit dem zusätzlichen Vorteil der automatischen Abschaltung anomaler Prozesse. Der Simulator ist mit einer Druckeinheit ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, die Verarbeitungsatmosphäre zu steuern und Ereignisse innerhalb der Maschine zu überwachen. AIXTRON Crius II Plattform ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für die Entwicklung von fortschrittlichen Halbleitern und LEDs. Es hat sich zum Standardwerkzeug innerhalb der Halbleiterindustrie entwickelt und wird in einer Vielzahl von Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen eingesetzt. Der Reaktor ist zuverlässig und kostengünstig und bietet Anwendern eine hohe Flexibilität.
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