Gebraucht AIXTRON Crius II #293660321 zu verkaufen
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ID: 293660321
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 2011
System, 2"-6"
AFFINITY EWE-08CH-ED44CBD0
EDWARDS IXH645H
Missing parts:
MKS Pressure
THERMO LAUDA RM6S bath
THERMO LAUDA RM25S bath
LAUDA WKL 230/E Chiller
HORIBA MFC 100 SLM
2011 vintage.
AIXTRON Crius II ist ein Bench-Top, nicht-molekularer Strahl Epitaxie (MBE) Reaktor, der für die Abscheidung von dünnen Schichten der Gruppe-III Nitride ausgelegt ist. Es ist in der Lage, hochwertige Dünnschichten dieser Materialien für Heteroübergangsanwendungen wie blaue Leuchtdioden (LEDs) und Laserdioden (LDs) herzustellen. Crius II unterstützt sowohl die metall-organische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) als auch die Molekularstrahl-Epitaxie (MBE). Der Ofenteil des Reaktors ist in der Lage, Temperaturen bis 1250 ° C bereitzustellen. Die Konstruktion des Reaktors gewährleistet homogene Bedingungen in der gesamten epitaktischen Wachstumskammer. AIXTRON Crius II ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um Benutzerfreundlichkeit und stabile Abscheidung zu unterstützen. Es ist mit mehreren Heiztechnologien (Induktion, direkte und RTA) und Kühlsystemen ausgestattet, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu erhalten. Zur Versorgung von C2H4, NH3 und Ar mit Durchflussmengen bis 80 sccm gibt es eine Gasförderanlage. Es gibt auch einen Graphitfaden, der die thermische Verdampfung beliebiger Materialien unterstützt, sowie einen weiteren Tiegel zur thermischen Verdampfung von InGaAs, falls gewünscht. Crius II verfügt über ein Lastschloß-Vakuumsystem, das die Wachstumskammer aus der Lastschloßkammer auf Niederdruck evakuieren kann. Die Lastschloßkammer weist außerdem ein abriebfestes Fenster auf, um die Lastschloßkammer vor den hohen Temperaturen der Wachstumskammer zu schützen. Der Reaktor verfügt außerdem über eine Turbomolekularpumpe zur Unterstützung des Hochvakuumbetriebs von bis zu 10-8 Torr. Die automatisierte Software des Reaktors kann bis zu 20 individuell programmierbare Abscheideparameter gleichzeitig unterstützen. Damit ist AIXTRON Crius II eine sehr vielseitige und zuverlässige Einheit für die MBE- und MOCVD-Abscheidung. Weiterhin misst die in situ He Druck- und Thermoprofilometriemaschine die Qualität der abgeschiedenen Schichten. Abschließend ist Crius II ein fortschrittlicher MBE/MOCVD-Reaktor, der in der Lage ist, einheitliche Bedingungen für das Wachstum von dünnen Schichten von Gruppe-III-Nitriden in einer Vielzahl von Anwendungen zu schaffen. Der Reaktor ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, die die Bedienung erleichtern und die Qualität der Abscheidung verbessern, wie die automatisierte Software, die mehreren Heizquellen und die enge Vakuumregelung. Dies macht es zu einem idealen Gerät für die Abscheidung von hochwertigen dünnen Filmen in blauen LEDs und Laserdioden.
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