Gebraucht AIXTRON Crius II #293823200 zu verkaufen

Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius II
ID: 293823200
Weinlese: 2019
MOCVD System 2019 vintage.
AIXTRON Crius II Industrial MOCVD Reactor ist ein zuverlässiges und modernstes Abscheidungswerkzeug für fortschrittliches epitaktisches Wachstum, das es ideal für die Herstellung von Verbundhalbleitermaterialien macht. Diese modulare Metalorganic-Chemical-Vapor-Deposition (MOCVD) -Ausrüstung bietet eine beispiellose Leistung, Zuverlässigkeit und Prozesskonsistenz dank ihres aktualisierten Designs und einer Reihe von Funktionen. Der Crius II Reaktor verfügt über eine maximale Wafergrößenkapazität von 2x2x2 Zoll, eine automatische Vorkonditionierung (APC) der Quarzkammer und eine präzise Prozessüberwachung. Es verfügt über eine Reihe von erweiterten Prozesssteuerungsmerkmalen, einschließlich eines benutzerdefinierten Vorkonditionierers mit offener Schleife, einer aktiven Steuerung der Gasvorläuferverteilung und einer aktiven Überwachung des Druck-, Temperatur- und Ozongemisches (O3) innerhalb der Reaktorkammer. Das System bietet außerdem einen optionalen EDUF-Modus (Enhanced Device Uniformity), um Vorläuferverteilungen zu optimieren und die Gleichmäßigkeit auf dem Substrat zu verbessern. Der AIXTRON Crius II Reaktor nutzt eine maßgeschneiderte AIXTRON Auspuffanlage, um einen höheren Abgasstrom mit möglichst geringem Platzbedarf zu erzeugen. Zusätzlich hilft ein hochauflösendes optisches Pyrometer, die Temperatur der Reaktionskammer auf ein Zehntel Grad Celsius zu messen. Dies ermöglicht eine stark wiederholbare Umgebung für konsistente Prozessleistung. Crius II Reaktor ist gut geeignet für eine Vielzahl von Produktionsprozessen, wie Metall organischen CVD, Abscheidung von Silizium-Germanium und anderen Verbundhalbleitermaterialien, und LED-Wafer-Produktion. Es ist optimiert für höchsten Waferdurchsatz bei gleichbleibender Qualität und Leistung, auch bei kontinuierlicher Produktion. Hinter seinem beeindruckenden Design verfügt der AIXTRON Crius II-Reaktor auch über eine bedienerfreundliche grafische Benutzeroberfläche mit mehreren benutzerfreundlichen Optionen und Funktionen. Abschließend ist Crius II ein zuverlässiger, hochmoderner industrieller MOCVD-Reaktor, der für ein maximales epitaktisches Wachstum von Verbundhalbleitermaterialien mit unübertroffener Prozesssteuerung und -leistung ausgelegt ist. Diese Maschine ist die ideale Wahl für jede Anlage, die eine zuverlässige Produktionsplattform mit einer breiten Palette von Optionen benötigt.
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