Gebraucht AIXTRON Crius II #9270073 zu verkaufen

AIXTRON Crius II ist ein hochmoderner Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor, der fortschrittliche Verfahrenstechnologie mit überlegener Qualität, Wirtschaftlichkeit und Mehrbenutzerbetrieb kombiniert. Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, mit der erfahrene Benutzer die Reaktorparameter für eine optimale Leistung konfigurieren können. Mit seiner flexiblen Prozesskammerdesign kann eine breite Palette von Dünnschichtmaterialien in einer kurzen Abscheidezeit abgeschieden werden. Crius II ist ein Mehrkammersystem mit zwei Prozesskammern: der Reaktionskammer und der Substratkammer. Die Reaktionskammer ist mit einer induktiv gekoppelten 13.56MHz Quelle zur Erzeugung von Hochfrequenzplasma ausgestattet. AIXTRON Crius II ist mit einer unabhängigen HF-Stromquelle ausgestattet, die eine präzise Leistungsregelung mit geringer Welligkeit und hoher Wiederholbarkeit ermöglicht und für eine Vielzahl von Abscheideprozessen geeignet ist. Crius II ist in der Lage, Hochleistungs- und Hochdruckplasmen einer Reihe von Gasen zu erzeugen, so dass der Benutzer den Prozess auf das gewünschte Ergebnis anpassen kann. Die Substratkammer ist mit einem Substratheizer ausgestattet, der von einer externen Zirkulationseinheit für Träger, Stickstoff und Argon temperiert wird. Die Maschine ist für den Betrieb über einen weiten Temperaturbereich ausgelegt und kann bis 850 ° C gleichmäßig erwärmen. AIXTRON Crius II verfügt auch über ein aktives Kühlwerkzeug, um optimale Abscheideprozessbedingungen zu gewährleisten. Crius II umfasst ein Prozesssteuerungsmodul mit benutzerfreundlicher Software zur Konfiguration und Optimierung des Abscheideprozesses. Eine Reihe von Prozessparametern kann nach Benutzerspezifikationen, wie Leistungspegel, Prozessgaszusammensetzung und Prozesszeit eingestellt werden. AIXTRON Crius II ist modular aufgebaut und ermöglicht Änderungen an der Asset-Hardware bei Bedarf für eine Vielzahl von Ablagerungsanwendungen. Crius II ist ein vielseitiger Reaktor, der Anwendern die Möglichkeit bietet, die Vorteile von PECVD-Prozessen zu nutzen. AIXTRON Crius II ist mit seiner langen Lebensdauer, Wirtschaftlichkeit und qualitativ hochwertigen Abscheidungsergebnissen ein großartiges Werkzeug für Forschung und Entwicklung bei einer Vielzahl verschiedener Dünnschichtprojekte.