Gebraucht AIXTRON Crius II #9272522 zu verkaufen

AIXTRON Crius II ist ein hochwertiges Abscheidungswerkzeug, das den Anforderungen der Forschungs- und industriellen PECVD-Gemeinschaft (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) gerecht wird. Crius II ist eine verbesserte Version von AIXTRON Crius, ein beliebtes Werkzeug mit zuverlässiger Leistung und breiter Fähigkeit, das für seine schnelle Substratübertragung und optionale geschweißte Kammer bekannt war. AIXTRON Crius II verbessert sich gegenüber seinem Vorgänger mit einer modernisierten Versa Platform™ Ausrüstung bestehend aus einem Niederdruck-Einkammer-System, kompletter Automatisierung und mehreren Prozesstechnologien. Die Versa Platform™ Einheit ist so konzipiert, dass sie eine vielseitige, wiederholbare und zuverlässige PECVD-Lösung bietet und gleichzeitig eine verbesserte Ertragshomogenität, inaktive Kammerzeit und Prozessflexibilität bietet. Crius II wird standardmäßig mit einer programmierbaren Substratheizmaschine, einer Substratvorreinigungskammer und einer erweiterten Fernbedienung der Abscheidekammer aus der Steuerungssoftware der Plattform geliefert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein programmierbares Gasförderwerkzeug, mit dem bis zu drei Vorläufergase für mehrere Prozesse, darunter SiO2, SiN, Ge und Ta2O5, geliefert werden können. Ein einzigartiges Merkmal von AIXTRON Crius II ist seine fortschrittliche dielektrische Spiegelhöhle mit Z-förmiger HF-Antenne zur effizienten Erzeugung von Plasma mit variablen PLD/PECVD-Leistungseinstellungen. Dies ermöglicht eine verbesserte Abscheidegleichmäßigkeit sowie einen höheren Substratdurchsatz. Darüber hinaus sorgt seine Strahlsteuerung für eine flache Abscheidung Gleichmäßigkeit mit einem kleinen Schatteneffekt. Crius II verfügt über ein optionales Viewpoint™ Monitor- und Kontrollmodell, mit dem Bediener den Zustand und die Leistung der Abscheidekammer in Echtzeit fernüberwachen können. Dieses Gerät liefert aktuelle Daten über den Abscheideprozess sowie ein Alarmsystem, um die Betreiber auf alle Prozessprobleme aufmerksam zu machen, die Aufmerksamkeit erfordern. Für weiteren Komfort ist AIXTRON Crius II auch so konzipiert, dass es mit anderen AIXTRON-Werkzeugen, wie AIXTRON Prodigy Multi-Station Unit und AIXTRON SELECT Abscheidungssystemen, kompatibel ist. Dies ermöglicht maximale Vielseitigkeit beim Einrichten einer Abscheidemaschine und stellt sicher, dass Crius II auch in Zukunft ein zuverlässiges und effizientes Abscheidewerkzeug bleibt.