Gebraucht AIXTRON Crius-R #9260376 zu verkaufen

AIXTRON Crius-R
Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius-R
ID: 9260376
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
MOCVD System, 12" 2012 vintage.
AIXTRON Crius-R ist eine Art epitaktischer Reaktor, der von AIXTRON für die Herstellung von hochreinen Verbindungshalbleitern entwickelt und entwickelt wurde. Zu diesen Halbleitern gehören verschiedene Galliumarsenide (GaAs), Indiumphosphid (InP) und Aluminiumgalliumarsenid (AlGaAs). Der Reaktor ermöglicht eine breite Palette von Wachstumsparametern und ist sowohl für Anwendungen im Produktionsmaßstab als auch für Anwendungen im Forschungsbereich konzipiert. Der Crius-R-Epitaxiereaktor verwendet keinen internen Suszeptor, wodurch er sich besser für die Herstellung hochwertiger Epitaxieschichten eignet. Es erfordert auch keine Warm- oder Abkühlzeit vor und nach dem Wachstumsprozess, was einen hohen Durchsatz für große Produktionsmengen ermöglicht. Darüber hinaus bietet es aufgrund der effizienten Bauweise des Reaktors ein hohes Maß an Prozesswiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Der AIXTRON Crius-R Epitaxiereaktor ist mit einem einzigartigen Quarzkristallmikrobalance (QCM) -Sensor ausgestattet, der die Endpunktdetektion von epitaktischen Schichten ermöglicht. Diese verbesserte Endpunktdetektion ermöglicht eine verbesserte Kontrolle des Wachstumsprozesses, wodurch die Qualität der gewachsenen Schichten erhöht wird. Crius-R verfügt auch über innovative Gaseinlässe und unabhängige Steuerung, die für die Herstellung der gewünschten Epitaxieschicht entscheidend sind. Darüber hinaus bietet der Reaktor ein integriertes Abkühlmodul, das die Wachstumstemperatur drastisch reduziert und die Lebensdauer der Substrate deutlich verbessert. Der AIXTRON Crius-R Epitaxiereaktor verfügt über eine Reihe integrierter Sicherheitsmerkmale, um das Risiko gefährlicher Situationen während des Betriebs zu verringern. Der Reaktor enthält auch verschiedene Diagnostik, um den Wachstumsprozess zu überwachen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Abschließend ist der Crius-R-Epitaxiereaktor sowohl für Anwendungen im Produktionsmaßstab als auch für Anwendungen in Forschungsqualität konzipiert, wodurch Forscher und Ingenieure ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für die Entwicklung und Herstellung von hochreinen Verbindungshalbleitern erhalten. Die integrierten Sicherheitsmerkmale und der QC-Sensor bieten maximale Kontrolle über den epitaktischen Prozess und ermöglichen eine hohe Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit.
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