Gebraucht AIXTRON Crius #9184895 zu verkaufen

AIXTRON Crius ist ein CVD-Reaktor, der für verschiedene Halbleiterprozesse eingesetzt werden kann. Crius wurde entwickelt, um eine hohe Gleichmäßigkeit der Abscheidungsraten über große Flächen bei niedrigeren Temperaturen und Drücken als andere klassische CVD-Reaktoren erreichen können. Dieser Reaktor bietet auch die niedrigsten Betriebskosten auf dem Markt. Der Reaktor verwendet eine Duschkopfanordnung, die die Gleichmäßigkeit des Abscheidungsprozesses erhöht. Diese Ausgestaltung zwingt die Gasströmung zu beiden Seiten der Kammer gleichmäßig einzudringen und vermeidet Veränderungen der in der Kammer abgeschiedenen Materialmenge. Die Verwendung eines rotierenden kreisförmigen Brausekopfes erhöht die Glätte des Abscheideprozesses an den Kammerkanten erheblich. AIXTRON Crius Reaktor kann die Temperaturen erreichen, die durch verschiedene Halbleiterprozesse erforderlich sind, mit einem Maximum von 1.500 ° C. Crius ist mit drei HF-Kondensatoren ausgestattet, die für die In-situ-Plasmaerzeugung konfiguriert sind und eine höhere Reaktorleistung sowie die Möglichkeit zur Verarbeitung höherer Materialdichten ermöglichen. Der Reaktor kann je nach Prozessparameter in einem Druckbereich von 5 mBar bis 6,7 bar arbeiten. AIXTRON Crius bietet auch eine breite Palette von Gaskonfigurationen, die eine Vielzahl von Anwendungen ermöglichen. Die verbesserten Prozesssteuerungsoptionen umfassen automatische Kammerspülung, automatische Gasschaltung und Echtzeit-Prozessüberwachung. Crius ist auch mit der AXR SDK Software Suite kompatibel, was die Integration des Reaktors in eine größere Umgebung erleichtert. Diese Software umfasst erweiterte Funktionen zur Erkennung von Fremdobjekten sowie End-to-End-Datenerfassungsfunktionen, die eine Produktivitätsüberwachung, eine teilabhängige Verschachtelung und eine erweiterte Routenberechnung beinhalten. AIXTRON Crius ist mit seinen niedrigen Betriebskosten sowie einer verbesserten Prozesssteuerung und leistungsstarken Software-Suite eine ideale Wahl für die Halbleiter- und Solarzellenverarbeitung.