Gebraucht AIXTRON Crius #9299684 zu verkaufen

AIXTRON Crius
Hersteller
AIXTRON
Modell
Crius
ID: 9299684
MOCVD Epi reactor.
AIXTRON Crius ist eine fortschrittliche Technologie, Multi-Wafer, chemisch unterstützte, chemische Dampfabscheidung (CVD) Ausrüstung mit einer Reihe von präzisen Steuerungsmöglichkeiten. Es wurde entwickelt, um Anwendern zu helfen, Dünnschichtmaterialien auf Substraten unterschiedlicher Größe wie Wafersubstrate, flexible Bänder und sogar große Substrate (bis zu 594mm) abzulegen. Crius ist ein Mehrzonenreaktor, d.h. der gesamte Abscheidungsprozess wird innerhalb derselben Reaktionskammer gesteuert. Dies ermöglicht eine präzise Abscheidung der dünnen Filme bei unterschiedlichen Temperaturen und Abscheideraten. Das System bietet auch Echtzeit-Temperaturüberwachung und effiziente Temperaturregelung. AIXTRON Crius verwendet eine Reihe chemischer Quellen, darunter Wasserstoff, Helium, Stickstoff und andere Gase sowie reaktive Elemente wie Silizium, Kohlenstoff und Wolfram. Dies ermöglicht es, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, wie ultradünne Filme für Elektronik- und Photonik-Anwendungen. Die Einheit bietet auch eine präzise Kontrolle über Reaktionsparameter, wie Gasflussraten, Reaktionszeit und Wafertemperatur, so dass eine Gleichmäßigkeit über eine Vielzahl von Substraten. Crius' Abscheidekammer ist für erhöhte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit konzipiert, um sicherzustellen, dass die gleichen genauen Parameter für jeden Abscheidungszyklus verwendet werden, was jedes Mal zu konsistenten Ergebnissen führt. Diese Kammer enthält ein Quarzreaktorfenster mit erweiterten optischen Emissionsüberwachungsfunktionen, das eine detaillierte Analyse der Abscheidungsschichten ermöglicht. Die Maschine enthält auch eine Reihe von Sensoren, die eine Überwachung und Steuerung des Werkzeugs ermöglichen, so dass es mit maximaler Effizienz und maximaler Sicherheit läuft. Alarme sind vorhanden, um Betreiber auf mögliche Auffälligkeiten oder potenzielle Bedrohungen für den Betrieb des Vermögenswertes aufmerksam zu machen. Insgesamt ist der AIXTRON Crius Reaktor ein leistungsfähiges und zuverlässiges Modell, das eine präzise Abscheidung und Gleichmäßigkeit auf einer Vielzahl von Substraten ermöglicht, wodurch die Anwender die verwendeten Materialien besser kontrollieren und jedes Mal konsistente Ergebnisse erzielen können.
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