Gebraucht AIXTRON G3 2600 #9150530 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9150530
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2007
MOCVD Systems, 4"
LED for GaN
Heating type: RF Induction heater
Epi-tune: In-situ reflectance spectra
Software OS: Window
Gas system:
Gas type: VCR Type
MFC: Bronhost / N2 / H2 / HCL / SiH4 / NH3
Carrier gas:
H2 (Total flow : 70 l/min)
N2 (Total flow : 70 l/min)
MO-Source: TMGa, TEGa, Cp2Mg, TMIn, TMAl, UDMH, CBr4, DTBSI
Vacuum system:
Process pump: EBARA ESA25D Dry pump
Filter: Exhaust gas filter with chiller
Pressure control: MKS651 Controller
Throttle V/V
Utility:
Voltage:
System: 208V AC, 3 Phase
Heater: 380V AC, 3 Phase
Cooling system:
Cooling liquid: Water
Max.inlet pressure: <6 bar
Differential pressure: >4 bar
Inlet temperature: <25℃
Outlet temperature: <65℃
Included:
GMS Cabinet
Reactor cabinet
Exhaust and chamber
Scrubber
RF Generator
Particle filter
Pump
Power:
System: 25KVA
Heater: 144KVA
208 V, 3 Ph, 50/60 Hz
Currently de-installed and warehoused
2007 vintage.
AIXTRON G3 2600 ist ein Reaktor, der speziell für die Herstellung fortschrittlicher Materialien entwickelt wurde. Es ist einer der leistungsstärksten Reaktoren auf dem Markt und bietet eine Kombination aus hoher Leistung, Vielseitigkeit und Präzisionsleistung. G3 2600 verfügt über eine 300-mm-Prozesskammer mit der Fähigkeit, eine kontrollierbare und gleichmäßige Temperatur bereitzustellen, um ein optimales Prozessergebnis zu erzielen. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Indium, Aluminium-Gallium-Arsenid (AlGaAs), Silizium-Germanium (SiGe) und Galliumnitrid (GaN) zu verarbeiten. Es hat auch die Fähigkeit, Materialien zur Oxidation und Abscheidung zu verdampfen und gleichzeitig einen dynamischen Bereich von für die Anwendung optimierten Prozessparametern bereitzustellen. AIXTRON G3 2600 ist mit einer Reihe von erweiterten Funktionen ausgestattet, die es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen macht. Sein innovatives Design ermöglicht eine überlegene konforme Folieneinheitlichkeit und eine gleichmäßige Dotierung homogener dünner Filme, während seine niedrige thermische Budgetgasquelle eine Oxidabscheidung bei hoher Planität im Vergleich zu herkömmlichen Abscheidungstechniken ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht sein einstellbares thermisches Budget eine breite Palette von Folienbelastungen sowohl für ein- als auch mehrschichtige Strukturen. G3 2600 Reaktor bietet auch erweiterte Automatisierung und Prozessüberwachung über eine erweiterte Batch-Steuerungssoftware mit Prozessinversion. Diese Software erleichtert vorprogrammierte Prozessprotokolle und ermöglicht es dem Bediener, seine Systemparameter schnell und einfach zu optimieren. Darüber hinaus ist AIXTRON G3 2600 so konzipiert, dass alle Umweltvorschriften und Vorschriften zur Unfallverhütung erfüllt werden, während die automatischen Verriegelungen der Prozesskammer den Prozess bei potenziellen Gefahren sofort stoppen. Darüber hinaus tragen Merkmale wie HF-Dichtung und Ferritmischung auch dazu bei, die Verschmutzung von Folien zu reduzieren/zu beseitigen, und seine versiegelte Geometrie sorgt für eine hermetische Bearbeitungsumgebung. Mit seinem umfangreichen Leistungsspektrum ist der G3 2600 ein idealer Reaktor für ein breites Spektrum an Forschungs- und Industrieanwendungen. Es bietet eine präzise Kontrolle für die Herstellung von fortschrittlichen Materialien und ist zuverlässig, effizient und vielseitig, so dass es eine gute Wahl für jede fortschrittliche Materialanwendung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor