Gebraucht AIXTRON G3 2600 #9150530 zu verkaufen

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Hersteller
AIXTRON
Modell
G3 2600
ID: 9150530
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2007
MOCVD Systems, 4" LED for GaN Heating type: RF Induction heater Epi-tune: In-situ reflectance spectra Software OS: Window Gas system: Gas type: VCR Type MFC: Bronhost / N2 / H2 / HCL / SiH4 / NH3 Carrier gas: H2 (Total flow : 70 l/min) N2 (Total flow : 70 l/min) MO-Source: TMGa, TEGa, Cp2Mg, TMIn, TMAl, UDMH, CBr4, DTBSI Vacuum system: Process pump: EBARA ESA25D Dry pump Filter: Exhaust gas filter with chiller Pressure control: MKS651 Controller Throttle V/V Utility: Voltage: System: 208V AC, 3 Phase Heater: 380V AC, 3 Phase Cooling system: Cooling liquid: Water Max.inlet pressure: <6 bar Differential pressure: >4 bar Inlet temperature: <25℃ Outlet temperature: <65℃ Included: GMS Cabinet Reactor cabinet Exhaust and chamber Scrubber RF Generator Particle filter Pump Power: System: 25KVA Heater: 144KVA 208 V, 3 Ph, 50/60 Hz Currently de-installed and warehoused 2007 vintage.
AIXTRON G3 2600 ist ein Reaktor, der speziell für die Herstellung fortschrittlicher Materialien entwickelt wurde. Es ist einer der leistungsstärksten Reaktoren auf dem Markt und bietet eine Kombination aus hoher Leistung, Vielseitigkeit und Präzisionsleistung. G3 2600 verfügt über eine 300-mm-Prozesskammer mit der Fähigkeit, eine kontrollierbare und gleichmäßige Temperatur bereitzustellen, um ein optimales Prozessergebnis zu erzielen. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Indium, Aluminium-Gallium-Arsenid (AlGaAs), Silizium-Germanium (SiGe) und Galliumnitrid (GaN) zu verarbeiten. Es hat auch die Fähigkeit, Materialien zur Oxidation und Abscheidung zu verdampfen und gleichzeitig einen dynamischen Bereich von für die Anwendung optimierten Prozessparametern bereitzustellen. AIXTRON G3 2600 ist mit einer Reihe von erweiterten Funktionen ausgestattet, die es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen macht. Sein innovatives Design ermöglicht eine überlegene konforme Folieneinheitlichkeit und eine gleichmäßige Dotierung homogener dünner Filme, während seine niedrige thermische Budgetgasquelle eine Oxidabscheidung bei hoher Planität im Vergleich zu herkömmlichen Abscheidungstechniken ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht sein einstellbares thermisches Budget eine breite Palette von Folienbelastungen sowohl für ein- als auch mehrschichtige Strukturen. G3 2600 Reaktor bietet auch erweiterte Automatisierung und Prozessüberwachung über eine erweiterte Batch-Steuerungssoftware mit Prozessinversion. Diese Software erleichtert vorprogrammierte Prozessprotokolle und ermöglicht es dem Bediener, seine Systemparameter schnell und einfach zu optimieren. Darüber hinaus ist AIXTRON G3 2600 so konzipiert, dass alle Umweltvorschriften und Vorschriften zur Unfallverhütung erfüllt werden, während die automatischen Verriegelungen der Prozesskammer den Prozess bei potenziellen Gefahren sofort stoppen. Darüber hinaus tragen Merkmale wie HF-Dichtung und Ferritmischung auch dazu bei, die Verschmutzung von Folien zu reduzieren/zu beseitigen, und seine versiegelte Geometrie sorgt für eine hermetische Bearbeitungsumgebung. Mit seinem umfangreichen Leistungsspektrum ist der G3 2600 ein idealer Reaktor für ein breites Spektrum an Forschungs- und Industrieanwendungen. Es bietet eine präzise Kontrolle für die Herstellung von fortschrittlichen Materialien und ist zuverlässig, effizient und vielseitig, so dass es eine gute Wahl für jede fortschrittliche Materialanwendung.
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