Gebraucht AIXTRON G3 ICHT #9296290 zu verkaufen

AIXTRON G3 ICHT
Hersteller
AIXTRON
Modell
G3 ICHT
ID: 9296290
System.
AIXTRON G3 ICHT ist ein führender Dampfabscheidungsreaktor, der in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung verwendet wird. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, präzise und hohe Produktivitätsleistung für die Herstellung von nanostrukturierten Halbleitermaterialien und -strukturen zu bieten. Es ist weit verbreitet für MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition), PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) und Dickfilmablagerungen. Diese moderne CVD-Reaktorausrüstung besteht aus vier Hauptkomponenten: Treiber, Kammer, Stromversorgung und Kühlsystem. Der Treiber ist das Herzstück des Reaktors und dient zur Steuerung des Abscheidungsprozesses. Es besteht aus zwei Teilen: dem PC-gesteuerten „Interface“ und dem DC-Treiber. Die Schnittstelle wird verwendet, um Prozessparameter wie Prozessdruck, Abscheidegeschwindigkeit usw. zu steuern. Der DC-Treiber dient zur Ansteuerung elektrochemisch aktivierter Abscheidungsquellen, die eine sehr feine Abscheidung bei extrem niedrigen Temperaturen ermöglichen. Die Reaktorkammer besteht aus Edelstahl und ist mit Teflon- und Quarzfenstern zur Betrachtung des Prozesses ausgestattet. Oben und unten befinden sich zwei rechteckige Öffnungen, die eine Erwärmung des Prozessgases ermöglichen und für nachfolgende Reaktionen geeignet sind. Ein optisches Fenster an der Spitze sorgt zudem für Effizienz bei der Steuerung des Prozesses und der Überwachung des Materialwachstums. Die Gleichspannungsversorgung versorgt den Treiber und die Quellen mit Strom, wodurch die Spannung während der Abscheidung bestimmt wird. Die Temperatur des Prozesses wird von einer Kühleinheit, bestehend aus einer Kühlschale, einer wassergekühlten Wand und einem Temperatursensor, überwacht und gesteuert. Diese Kühlmaschine ermöglicht eine sehr genaue Temperaturregelung während der Abscheidung. G3 ICHT ist ein vielseitiger, zuverlässiger und genauer CVD-Reaktor, der hochwertige Halbleitermaterialien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Gleichmäßigkeit der Dicke herstellt. Sein robustes Design ermöglicht die schnelle Abscheidung von hochwertigen Folien und bietet Flexibilität im Prozessdesign, was die Abscheidung einer breiten Palette von Materialien auch bei extrem niedrigen Temperaturen ermöglicht. Darüber hinaus können die Festkörper-Zuverlässigkeit und die feine Prozesskontrolle des Werkzeugs die Herausforderungen im Zusammenhang mit herkömmlichen CVD-Prozessen meistern.
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