Gebraucht AIXTRON G3 #293602405 zu verkaufen

AIXTRON G3 ist ein hochvolumiges Abscheidungswerkzeug, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses Tool verwendet eine reiche Reihe von Funktionen, die sehr hochwertige Ergebnisse erzielen können. Es ist das erste All-in-One-Werkzeug, das elektrostatische und chemische Dampfabscheidung (CVD) gemäß der Reaktorklasse kombiniert. Dank seiner Fähigkeit, Metall und dielektrische Abscheidung zu tun, kann das Werkzeug verwendet werden, um Metall und dielektrische Schichten für verschiedene Gerätestrukturen zu konstruieren. Es handelt sich um einen Dreikammerreaktor mit niedriger thermischer Stabilität. Seine Kammern sind für unabhängige Anwendungen mit hoher Wärmeabscheidung konzipiert und verfügen über einen Gasduschkopf mit geringem thermischen Einfluss. Dies schließt die Notwendigkeit einer separaten Kammer zur thermischen Vermeidung aus. AIXTRON G 3 verfügt über ein hocheffizientes Mehrzonen-Temperaturregelsystem und eine hochpräzise Prozesssteuerung. Dies ermöglicht eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Substrattemperatur. Der Reaktor verwendet drei separate Abscheidungsquellen in Form von Effusionszellen (MOCVD/MOTE) für die Metallabscheidung und zwei dedizierte Flüssigkeits- oder Gasquellen für die dielektrische Abscheidung. Diese Quellen sind in einer vakuumdichten Kammer eingeschlossen und ermöglichen eine exakte Steuerung der Abscheideraten über eine genaue Zeitsteuerung der Strom- und Gasversorgung. G3 weist eine schnell ansprechende Reaktionskammer auf, in der die Temperaturen in Sekundenschnelle eingestellt werden können. Diese Funktion hilft, die Verarbeitungszeit zu beschleunigen und gleichzeitig eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich können die Frequenzen der Hochfrequenzquellen eingestellt werden, um den Prozess weiter zu optimieren. G 3 ermöglicht das Aufbringen von bis zu drei Folienschichten mit einem einzigen Setup, sowohl in der Einzel- als auch in der Multi-Wafer-Verarbeitung. Dies bietet einen höheren Durchsatz als bei vielen anderen Abscheidewerkzeugen. Die robuste Architektur des Werkzeugs ermöglicht zudem eine Vielzahl von Prozesstemperaturen sowie eine HF-Vorspannung. Insgesamt ist AIXTRON G3 ein vielseitiges und leistungsstarkes Abscheidewerkzeug, um hervorragende Qualitätsergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erzielen. Seine mehrdimensionalen Steuerungsfunktionen, schnellen Abscheideraten und die Fähigkeit, verschiedene Schichten in einem Setup abzulegen, machen es zu einer großen Auswahl für eine Vielzahl von Anwendungen.