Gebraucht AIXTRON G3 #293779026 zu verkaufen
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AIXTRON G3 ist eine Hochleistungs-Abscheideausrüstung, die sich sowohl für den Einsatz in der Forschung als auch bei der Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen eignet. Dieser Reaktor zeichnet sich durch eine kompakte Bauweise aus, die ideal für kleine Produktionsläufe von Geräten mit einer maximalen Prozessfläche von 500 mm x 350 mm ist. In Bezug auf die Leistung ist AIXTRON G 3 in der Lage, Abscheideraten von bis zu 0,5 μ m/min in manuellen Prozessen und bis zu 3,0 μ m/min bei der Automatisierung zu erreichen. Es ist auch hochflexibel, ermöglicht bis zu 8 Prozesse, mit Unterstützung für eine breite Palette von Abscheidungsmaterialien. G3 verwendet ein paralleles plattenelektrostatisches Ladungsübertragungssystem, das eine ausgezeichnete Abscheidungsgleichförmigkeit über das Substrat ergibt. Diese Einheit eignet sich hervorragend zur Erzeugung scharfer Grenzflächen zwischen den Materialschichten, was für die Herstellung fortschrittlicher Gerätestrukturen wichtig ist. G 3 verfügt auch über eine optische Rückkopplung Steuerung Maschine, um die Konsistenz des Betriebs zu gewährleisten, sowie einen Turmofen und Wafer Chucker für genaue Temperaturregelung. AIXTRON G3 ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Es verfügt über einen Inertgas-Duschkopf, um eine inerte Atmosphäre für Abscheidungsprozesse bereitzustellen, und kann mit mehreren Verarbeitungsquellen ausgestattet werden, einschließlich thermischer Verdampfung, korrosiver Beschichtung und Elektronenstrahlverdampfung. Darüber hinaus ist es kompatibel mit einer Reihe von nichtverdampfenden Quellen, wie Ionenstrahl-Sputtern, chemische Dampfabscheidung und Laserablation. Im Hinblick auf die Sicherheit ist AIXTRON G 3 auch mit einem explosionsgeschützten Kabel ausgestattet, das die Gefahr gefährlicher Funken oder Brände verhindert, und einem Sicherheitsexplosionsgehäuse, um das Personal während der Verarbeitung vor energiereichen Funken zu schützen. Es ist auch mit einem Echtzeit-Prozessüberwachungswerkzeug ausgestattet, das Schwankungen der kryogenen Temperatur des Substrats erkennen kann und eine präzise Steuerung ermöglicht. Insgesamt ist G3 eine äußerst zuverlässige und vielseitige Abscheidung, die es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die ein leistungsfähiges und zuverlässiges Modell für ihre Abscheideprozesse suchen.
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