Gebraucht AIXTRON G4 #9222127 zu verkaufen

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AIXTRON G4
Verkauft
Hersteller
AIXTRON
Modell
G4
ID: 9222127
Weinlese: 2011
Metal organic chemical deposition systems (MOCVD) 2011 vintage.
AIXTRON G4 ist eine revolutionäre Reaktorausrüstung zur Herstellung siliziumhaltiger Materialien. Es bietet eine hervorragende Leistung und ermöglicht die Herstellung sowohl fortschrittlicher Dünnschichtmaterialien als auch von Nanostrukturen im großvolumigen Maßstab. Es verfügt über die neueste Dotierstofftechnologie, um das Wachstum vieler Materialien zu verbessern, einschließlich der Fähigkeit, Elemente wie Aluminium, Gallium und Arsen (AlGaAs) zu integrieren. Das Reaktorsystem besteht aus einer Prozesskammer, einem HF-Generator, einer Gasfördereinheit und einer integrierten Abscheidungsüberwachungsmaschine. Die Kammer ist ein vollständig computergesteuertes Gehäuse, das eine wiederholbare, automatisierte Prozesssteuerung ermöglicht. Es ist für Tieftemperaturprozesse optimiert und ermöglicht die Herstellung hochwertiger Dünnschichten auf Substraten mit unterschiedlichsten Prozessanforderungen. Der HF-Generator ist in der Lage, bis zu 100 W HF-Leistung mit einem Frequenzbereich von 6 kHz bis 40 MHz bereitzustellen. Diese Leistung kann genau auf spezifische Gasprozessanforderungen abgestimmt werden. Es bietet auch hervorragende Sicherheitsmerkmale, wie Übertemperaturschutz und Lichtbogenfehlererkennung. Das Gasförderwerkzeug besteht aus mehreren individuell gesteuerten Abgabeauslässen. Dieser Vorteil ermöglicht eine genaue Kontrolle der Materialabscheidungsraten und -erträge, einschließlich der Möglichkeit, Über- oder Unterbeschichtungen bei der exakt gewünschten Dicke zu vermeiden. Darüber hinaus bietet dieses Modell die Flexibilität, je nach Prozessanforderungen eine Vielzahl von Gasen einzusetzen. Schließlich verfügt AIXTRON G 4 über eine integrierte Abscheidungsüberwachung. Dieses System besteht aus optischer Emissionsspektroskopie (OES), Dünnschichtdickenmessgeräten und Online-Qualitätskontrolle. Durch die Kombination dieser drei Komponenten bietet G4 die Möglichkeit, Abscheidungsprozesse direkt in situ zu überwachen und Prozessrückmeldungen in Echtzeit bereitzustellen. Alles in allem ist G 4 eine revolutionäre Reaktoreinheit, die eine breite Palette von Materialwachstumsfähigkeiten bietet. Die Kombination aus innovativen Funktionen, hoher Präzisionskontrolle und umfangreichen Überwachungsfunktionen machen es zur perfekten Wahl für die Herstellung von fortschrittlichen Materialien und Nanostrukturen auf einem großvolumigen Maßstab.
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