Gebraucht AIXTRON G5 HT #9256337 zu verkaufen
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ID: 9256337
Weinlese: 2012
MOCVD System
Capacity: 56x2", 14x4", 8x6"
Wiring: 4-Wire with ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2012 vintage.
AIXTRON G5 HT ist ein Hochtemperaturreaktor von AIXTRON, einem führenden Hersteller fortschrittlicher Technologie-Abscheidungssysteme. AIXTRON G5HT ist ein fortschrittliches Epitaxiewerkzeug für großflächige Halbleiterbauelemente wie Power MOSFETs, leistungsstarke Leistungselektronik und High Electron Mobility Transistors (HEMTs). G5 HT kann eine Prozesstemperatur von bis zu 1045 ° C aufrechterhalten und bietet eine präzise Temperaturregelung. Es ist mit verschiedenen Ausstattungsmerkmalen ausgestattet, wie automatische Druckregelung und Hochdruckspülung, um qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidungsprozesse zu gewährleisten. Herzstück des Systems sind Suszeptor, Quarzhalogenlampe und HF-Generator. Der Suszeptor ist für einfaches Be- und Entladen während des Betriebs ausgelegt. Es hat einen Temperaturbereich von 300-1300 ° C und verwendet eine Kombination aus Infrarot- und Halogenlampen zum Heizen. Die Quarzhalogenlampe sorgt für fokussierte, konzentrierte Heizung und ist leicht einstellbar, um ein glattes Heizmuster zu liefern. Der HF-Generator bietet zusätzliche Heizleistung und kann zur Erzeugung von Plasmaprozessen für erhöhte Abscheidungsraten und verbesserte Prozessleistung verwendet werden. G5HT verwendet AIXTRON proprietäre Gasfördereinheit, die die Lieferung einer breiten Palette von Vorläufermaterialien ohne die Notwendigkeit von Hilfsgasleitungen ermöglicht. Dies ermöglicht eine vollständige Flexibilität in der Art des abscheidbaren Materials. Zusätzlich kann AIXTRON G5 HT eine Dickfilm-Galliumnitrid-Dotierung durchführen, die die Herstellung von Transistoren mit hoher Elektronenmobilität (HEMTs) ermöglicht. Zu den Vorteilen von AIXTRON G5HT gehören seine Hochtemperaturfähigkeiten, seine Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien abzulegen, seine effiziente Gasliefermaschine und seine genaue Temperaturregelung. G5 HT ist ein zuverlässiges, kostengünstiges und einfach zu bedienendes Werkzeug, das es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen macht.
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